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検査システム向け 高荷重対応ヘキサポッド
放射線治療のための患者様を正確に6軸位置決めが可能
最終更新日
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小型デジタルピエゾコントローラ E-709.1C1L
24 bit DAC×20 kHzサンプリングレート、アナログ制御も対応1軸ピエゾコントローラ
最終更新日
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【ナノテクノロジー向け】対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノメートル分解能、最大800 µm移動量のフォーカススキャナ P-725.xCDE2
最終更新日
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【バイオテクノロジー向け】P-725.xCDE2
サブナノ分解能・Z方向最大800 µmストローク対応 フレクシャ機構搭載フォーカススキャナ
最終更新日
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【光計測向け】長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
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【半導体検査向け】P-725.xCDE2 フォーカススキャナ
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 半導体検査装置向け高精度Zフォーカススキャナ
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最大800µm長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノの分解能をもち、最大800 µm動作、高速・高精度PIFOC(R)フォーカススキャナ
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【バイオテクノロジー向け】V-308フォーカスステージ
細胞観察・深部イメージングの精度を高める — ナノ精度Z軸フォーカスステージ
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【半導体製造向け】ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小10 nm分解能、最大7 mmストローク。半導体装置の高精度Z軸フォーカス制御を実現
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【レーザー加工向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ
最小10 nm分解能。レーザー加工ヘッドの高精度Z軸フォーカス制御
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【光学顕微鏡向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ
最小10nm動作、最大7mm移動、1kg対応。微細観察を支える高精度Z軸
最終更新日
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最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小動作10nmで、最大7mm移動、1kgまでの無電源保持 微細観察を支える高精度Z軸
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【電子部品実装向け】薄型設計・最大5m/s 高速リニアステージ
電子部品実装の高速化を実現する、薄型・高精度リニアモータステージ
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132×94mmのスリムな筐体 高速リニアステージ V-857
132mm幅、最大速度5 m/s、0.1 µm最小動作量のリニアモータステージ
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【計測向け】最大800mmストローク リニアステージ V-855
0.1 µm分解能と最高4 m/sの高速動作で高精度測定を実現
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【研究開発向け】800mmリニアモーターステージ V-855
高速4 m/s×高分解能で研究開発の位置決めを高精度化
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【電子部品実装向け】最大800mmリニアステージ V-855
高速・高精度搬送を実現する最大800mmストロークのリニアモーターステージ
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最高速度4m/s・高精度位置決め用途 リニアステージ V-855
0.1 µmの最小インクリメンタルモーションで、無負荷時の最大速度4000mm/秒、最大加速度50 m/s²、耐荷重600N
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【精密加工向け】Z・チップ/チルト対応エアベアリング A-523
1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージ
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【光学調整向け】Zチップチルト エアベアリング A-523
1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージをリリース！
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【半導体製造向け】Z方向・チップ/チルトステージ動作 A-523
1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージ
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Z方向・チップ/チルト対応エアベアリングステージ A-523
1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージをリリース！
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ACS社製モータステージ用モーションコントロールシステム
産業機械、半導体設備など、高精度に多軸モーションコントロールを必要とするお客様に最適
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【電子部品向け】エアベアリング A-311
エアベアリング×リニアモータによる非接触駆動。基板・部品検査の高速化と安定化に貢献
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【レーザーマーキング向け】エアベアリング A-311
エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm
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【半導体検査向け】エアベアリング A-311
エア浮上×リニアモータで高速・高精度ウェーハ検査を実現
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300mm高速XYエアベアリングプラナースキャナ A-311
エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm
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エアベアリング搭載・摩擦のない回転ステージ A-63x
薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。
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【光学向け】大開口・エアベアリング回転ステージ A-68x
薄型・高精度、光学系の調整に最適なエアベアリング回転ステージ
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【半導体向け】ウェーハ検査・計測用エアベアリング回転ステージ
薄型・高精度。半導体製造の位置決めを高精度化
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