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超音波モータ駆動の小型リニアステージ U-521
サイズ35x35x15mm、18 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
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【顕微鏡走査向け】S-335チップ/チルトピエゾプラットフォーム
±35 mradの高角度制御と高速応答を実現するピエゾチップ/チルトプラットフォーム
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~70mradのチップ/チルトピエゾプラットフォーム S-335
±5 mrad×3 ms収束、10 kHz共振――0.1 µrad分解能の高速ビームステア
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【顕微鏡向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
高倍率観察をナノメートル分解能で支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
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【レーザー加工向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
微細レーザー加工の焦点・位置制御を支える、100 µm × 3軸ナノポジショナー
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【ナノテクノロジー向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
ナノスケール位置制御を支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
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【光学向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
100 µm × 3軸。光学アライメントをナノ精度で実現するコンパクトXYZピエゾステージ
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【半導体製造向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
半導体装置の微細位置補正に。100 µm × 3軸ナノポジショナー
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XYZ軸ピエゾステージ 100×100×100 µm P-616
各40mmサイズで、XYZ軸100µm動作のコンパクトXYZピエゾステージ
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高推力PICMAWalkアクチュエータ N-331
最大速度12 mm/s、50 Nの駆動力、ナノ位置決め動作の組込みアクチュエータ
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PIMag リニアモータXY軸ステージ『L-731/V-731』
産医療産業、レーザー切断、走査などに!高精度位置決め可能なリニアモータステージ
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小型リニアステージ『L-505』
リミットスイッチ内蔵!DCステッピングモータ付きコンパクトリニアステージ
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高精度Zステージ『L-310』
工業、研究分野の精密ポジショニングに!高デューティサイクルのZステージ
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高耐荷重リニアアクチュエータ『L-239型』
研究、光学アライメントなどの使用に!高分解能でハイパワーなリニアアクチュエータ
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PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』
PIMagボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラ。幅広いサポート機能が搭載
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PIglide 直動エアベアリングステージ『A-110』
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
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【製造業向け】H-840 ヘキサポッドシステム
±50 mm / ±30°対応・高速6軸制御ヘキサポッド
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【研究向け】H-840 ヘキサポッドシステム
高速6軸制御を実現するコンパクトヘキサポッド
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ピーアイ・ジャパン株式会社 6軸ステージ
摩擦を抑えながら信頼性の高い動作を実現!マイクロ製造、医療技術、工具制御に使用可能!
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50N推力 ナノポジショニングアクチュエータ N-111
長距離ナノポジショニング用のPiezoWalk(R)ドライブ。ストローク~5mm、 高分解能、および発生力~40Nでコンパクト
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S-330ピエゾチップ/チルトプラットフォーム
高ダイナミック、大動作角のピエゾチップ/チルトプラットフォームにより高速のステアリングミラーが可能。
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サブナノZ軸ナノポジショナ P-620.Z~P-622.Z
0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御
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【精密測定向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベルのZ・チップチルト制御を実現。66mm開口の高精度ピエゾステージ
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【顕微鏡走査向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージP-5x8
高倍率観察を支えるナノレベル走査。66mm開口のZ・チップチルトピエゾステージ
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【光学調整向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベルの調整を実現する、開口部付きピエゾステージ
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Z・チップ・チルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベル動作量はZ軸100µmと200µm チップチルト軸1mradと2mradのタイプ 66mm開口で透過光にも最適
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44mmで120µm動作の小型Z軸ピエゾステージ P-611.Z
44 mm×44 mm の筐体で 120 µm 動作の Z 軸ピエゾナノステージ
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XYZ軸300µm動作 精密位置決めステージ P-561~563
66 mm開口×XYZ軸最大300 µmをナノオーダーで精密位置決め
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XZ・XYZナノポジショナー P-611.XZ・P-611.2
44 mm角の面積で、120 µm動作量、0.2 nm分解能をもつXY軸・XZ軸ステージ
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開口56 mmつきXY軸ピエゾスキャナ P-734
平坦度5 nm・分解0.3 nm、共振周波数500 Hzで高速&高精度動作を実現
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