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多軸デジタルピエゾコントローラ E-727 高速制御タイプ
最大4軸対応、データ記録・波形生成機能も標準搭載
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1ch ピエゾサーボコントローラ＆ドライバー E-625
24ビットA/D搭載でナノ分解能を実現、最大12chまで並列制御可能
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モジュール式ピエゾコントロールシステム E-500/E-501
使用軸数や対応センサー、動作仕様に合わせて柔軟な構築が可能
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小型XY軸ピエゾステージ P-620.2~P-629.2
最大1800µmの長ストロークとナノ精度で、微細な位置決めを実現
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エアベアリングボイスコイルリニアステージA-142PIglide
5nm分解能・200mm/sで高速・滑らかなサブミクロン動作を実現
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摩擦由来誤差を抑える半球型エアベアリング
±45°チルトと635kg耐荷重により、大型機器の高精度姿勢制御を実現
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回転由来誤差を抑える高精度回転ステージ
200nm以下の偏芯性能により、ウェーハ検査や光学校正工程の測定精度を安定化
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モーションコントローラ A-81x PIglide 1〜4軸対応
1台で1～4軸、卓越した拡張性と省スペース性能を実現
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E-881 BIX モーションコントローラ
多様な制御環境に対応！装置組込みに最適な制御ソリューション
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小型・高分解能・小型ピエゾ駆動リニアステージ B-421
最大33mmの移動量！超小型で高精度ピエゾ駆動リニアステージ
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小型リニアエアベアリングステージ A-143 高精度タイプ
摩擦ゼロ。25 mmの移動範囲で±0.2 µmの高精度位置決めを実現
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高性能・省スペース設計 直動エアベアリングステージ A-121
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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リニアモーターコントローラ PIMagC-891 高速制御モデル
USB制御＆マルチ言語対応で、セットアップも操作もスムーズ
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ボイスコイルモーターコントローラ C-414 小型制御ユニット
最大5A出力×豊富なI/O×PID制御で、ボイスコイル駆動を自在にコントロール
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ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズ
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
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高精度XY軸リニアモーターステージV-P01(精密位置決め対応)
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
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高精度Z軸ボイスコイルモーターステージ V-Z03｜精密高剛駆動
高速応答＆高剛性ガイドで、サブミクロンの精密Z軸制御を実現
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高負荷リニアモーターステージ V-D07｜1000N耐荷＆高精度
長寿命・高剛性設計｜高負荷環境でも精密でスムーズな動作を実現
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PICMAWalkingドライブ用デジタルコントローラ
1～3軸 インクリメンタルセンサ付きPICMAWalk ドライブ用
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高発生力＆高精度ピエゾリニアステージ N-332
ピエゾWalk駆動による、ストローク25mm以上のリニアステージ
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PI社 ヘキサポッド一覧カタログ
PI社：ヘキサポッド位置決めシステムのグローバルカンパニー・高精度ヘキサポッド位置決めステージ一覧
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【7つの応用事例】ヘキサポッド6軸位置決めシステム
【多軸位置決め】ヘキサポッド（6自由度）応用事例７選 6軸ステージの使いどころが分かる。ヘキサポッドの応用事例と構造を解説
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グラナイト専門メーカのピー・ヂー・ダブリューがPIグループに！
極めて高い石の研磨技術を有し、大型で高精度なグラナイトを必要とするFPD業界を中心に、装置の土台や定盤、治具等を製造しています。
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パラレルキネマティック・小型ヘキサポッド H-811.I2
コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム
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小型で25mmまでの動作量：リニアステージ M-11x型
サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ
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最大600Nの連続荷重のリニアステージ V-817
リニアモータ×エンコーダで高荷重600Nでも滑らか＆高速応答
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【光学調整向け】XY多軸モーションシステム X-417
XY＋Z構成に対応する高精度多軸システム。用途に合わせて最適な構成が可能
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【研究開発向け】柔軟に構成可 多軸モーションシステム X-417
用途に応じて軸数や仕様を自由に構成できる多軸モーションシステム
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【電子機器実装向け】高精度XY多軸モーションシステム X-417
用途に合わせて軸構成や仕様を柔軟に組み合わせ可能
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XYステージ（実装位置決め／高剛性搬送）多軸モーションユニット
半導体・電子部品実装向け。高再現性位置決めにより実装ズレを抑制し品質を安定化
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