顕微鏡用XYステージ｜長時間観察で位置再現性を維持するピエゾ駆動

10nm分解能と自己保持機構により、ライブセル・共焦点観察時の画像位置ズレを低減

最終更新日 2026年06月02日

光学アライメントの位置ズレを抑えるリニアアクチュエータ

レーザー光路や光学ミラーの微調整後も、長時間安定した位置保持を実現

最終更新日 2026年06月06日

光学ミラー調整の再現性を維持するリニアアクチュエータ

チップ・チルト調整後の位置ズレを抑え、真空環境でも長時間安定保持

最終更新日 2026年06月06日

高荷重でも測定品質を維持するナノ位置決めアクチュエータ

保持力800Nと5nm分解能により、半導体検査やナノリソグラフィ工程の位置ズレを抑制

最終更新日 2026年06月06日

多軸デジタルピエゾコントローラ E-727 高速制御タイプ

最大4軸対応、データ記録・波形生成機能も標準搭載

最終更新日 2025年12月22日

1ch ピエゾサーボコントローラ＆ドライバー E-625

24ビットA/D搭載でナノ分解能を実現、最大12chまで並列制御可能

最終更新日 2025年12月22日

モジュール式ピエゾコントロールシステム E-500/E-501

使用軸数や対応センサー、動作仕様に合わせて柔軟な構築が可能

最終更新日 2025年12月22日

XYピエゾステージ｜半導体検査時の位置再現性を維持する機構

±0.2nm双方向再現性により、ウェハ検査・マスクアライメントの位置ズレを低減

最終更新日 2026年06月03日

高速動作時の微細位置ズレを抑えるボイスコイルステージ

5nm分解能と200mm/s高速応答により、半導体・光学工程の微細補正を安定化

最終更新日 2026年06月08日

摩擦由来誤差を抑える半球型エアベアリング

±45°チルトと635kg耐荷重により、大型機器の高精度姿勢制御を実現

最終更新日 2026年06月22日

回転由来誤差を抑える高精度回転ステージ

200nm以下の偏芯性能により、ウェーハ検査や光学校正工程の測定精度を安定化

最終更新日 2026年05月23日

多軸同期時のスキャン品質を維持するモーションコントローラ

EtherCAT対応の最大4軸同期制御により、半導体・計測工程の位置ズレを低減

最終更新日 2026年06月08日

E-881 BIX モーションコントローラ

多様な制御環境に対応！装置組込みに最適な制御ソリューション

最終更新日 2026年01月08日

小型リニアステージ｜狭小空間でも位置精度を支えるピエゾ駆動

高さ11mm・最大33mmストロークで、光学装置や小型計測機器への組込みに対応

最終更新日 2026年08月03日

高速スキャン時の測定品質を維持するエアベアリングステージ

真直度±0.05µmと390mm/s高速動作により、半導体・光学検査工程の位置誤差を低減

最終更新日 2026年06月08日

長ストロークでも測定品質を維持するエアベアリングステージ

真直度±50nmと500mm/s高速搬送により、X線CTや半導体検査の位置誤差を低減

最終更新日 2026年06月08日

リニアモーターコントローラ PIMagC-891 高速制御モデル

USB制御＆マルチ言語対応で、セットアップも操作もスムーズ

最終更新日 2025年12月22日

ボイスコイルモーターコントローラ C-414 小型制御ユニット

最大5A出力×豊富なI/O×PID制御で、ボイスコイル駆動を自在にコントロール

最終更新日 2025年12月22日

回転ステージ（高精度アライメント／ダイレクトドライブ）検査向け

ウェーハ検査・光学校正向け。高精度回転制御でアライメント精度と再現性を向上

最終更新日 2026年06月02日

XYステージ（AOI検査／±1µm位置決め）高精度スキャン向け

自動光学検査・スキャニング向け。高速搬送と高再現性位置決めで測定精度を安定化

最終更新日 2026年06月02日

Z軸ステージ（半導体検査／0.035µm補正）高精度フォーカスに

光学測定・半導体検査向け。高剛性Z軸制御で高倍率観察時の焦点ズレを低減

最終更新日 2026年06月02日

リニアモータステージ（1000N搬送／高精度検査）重量物向け

大型検査装置・レーザー加工向け。重量ワーク搬送時も高精度位置決めを維持

最終更新日 2026年06月02日

SEM・超解像顕微鏡の走査再現性を維持するピエゾステージ

長ストロークと3nm微動を両立し、高倍率観察時の位置ズレやドリフトを抑制

最終更新日 2026年06月06日

PI社　ヘキサポッド一覧カタログ

PI社：ヘキサポッド位置決めシステムのグローバルカンパニー・高精度ヘキサポッド位置決めステージ一覧

最終更新日 2026年04月27日

【7つの応用事例】ヘキサポッド6軸位置決めシステム

【多軸位置決め】ヘキサポッド（6自由度）応用事例７選 6軸ステージの使いどころが分かる。ヘキサポッドの応用事例と構造を解説

最終更新日 2026年04月27日

グラナイト専門メーカのピー・ヂー・ダブリューがPIグループに！

極めて高い石の研磨技術を有し、大型で高精度なグラナイトを必要とするFPD業界を中心に、装置の土台や定盤、治具等を製造しています。

最終更新日 2026年02月24日

制限空間でも位置再現性を維持する小型ヘキサポッド

40nm分解能と±0.1µm再現性により、光位置合わせや品質保証試験の精度向上に貢献

最終更新日 2026年06月06日

型省スペース装置の位置決め品質を維持する小型リニアステージ

60mm角サイズでXYZ構成に対応し、小型検査装置や光学系の微細位置調整を実現

最終更新日 2026年06月06日

高荷重リニアステージ（600N搬送／精密検査）大型装置向け

大型ワーク検査向け。重量物搬送時も2µm再現性で測定品質を安定化

最終更新日 2026年06月02日

【光学調整向け】XY多軸モーションシステム X-417

XY＋Z構成に対応する高精度多軸システム。用途に合わせて最適な構成が可能

最終更新日 2026年03月12日