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【研究開発向け】小型リニアステージ・真空対応有り M-11x
サイズ60mm四方、XYZ軸対応のコンパクトリニアステージ
最終更新日
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【光学調整向け】真空環境対応有り・小型リニアステージ M-11x
サイズ60mm四方、XYZ軸対応のコンパクトリニアステージ
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【顕微鏡フォーカス向け】リニアアクチュエータN-472
慣性駆動と位置フィードバックで顕微鏡フォーカスを長期安定化
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【光学調整向け】リニアアクチュエータ N-472
慣性駆動と位置フィードバックで長期安定の光学微調整
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【顕微鏡向け】フォーカス調整に リニアアクチュエータ N-470
最大13 mmストロークで顕微鏡フォーカスを精密制御
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【光学調整向け】微細調整に最適なリニアアクチュエータ N-470
ミラー・光学素子の微細調整に最適な高保持力コンパクトアクチュエータ
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【半導体向け】ピエゾナノ位置決めアクチュエータ N-216
最大800Nの保持力と5nm分解能を実現。半導体製造装置の高精度位置決めを支える高推力ピエゾドライブ
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【光学調整向け】最大600Nの高荷重リニアステージ V-817
リニアモータ×高精度エンコーダで高荷重600Nでも滑らか・高速応答
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【半導体製造向け】ウェハ加工および検査に 高負荷リニアステージ
リニアモータ×エンコーダで高荷重600N（最大）でも滑らか＆高速応答
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【研究開発向け】滑らかで安定制御・高精XYステージ V-P01
高速・高精度な実験をサポートするXYステージ
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【レーザー加工向け】滑らか動作の高精度XYステージ V-P01
レーザー加工の切断工程に。高精度位置決めと高速移動を実現
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【計測機器向け】高精度XYステージ V-P01
校正作業の効率化と精度向上に貢献するXYステージ
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【光学向け】低速域でも滑らか動作・高精度XYステージ V-P01
レンズ調整の精度と効率を向上させるXYステージ
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【顕微鏡向け】高精度XY軸リニアモーターステージV-P01
顕微鏡観察・自動イメージング向け 高精度XYステージ V-P01
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【ウェーハ検査向け】摩擦レス・高精度XYステージ V-P01
高速・高精度なウェーハ検査をV-P01が実現
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【研究開発向け】高精度Z軸ボイスコイルモーターステージV-Z03
高速応答＆高剛性で、サブミクロン単位の精密Z軸制御を実現
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【半導体検査向け】高剛性・高精度Zステージ V-Z03
高速・高精度なZ軸制御で、半導体検査の品質と効率を向上
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【レーザー微細加工向け】高負荷リニアモーターステージ V-D07
光学機器の調整作業を精密かつスムーズに。高精度リニアステージ
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【光学分野向け】NanoCube 6軸ピエゾシステム
6軸ナノポジショニングで光学系の微細調整を実現
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【研究開発向け】光学用位相シフター S-312
干渉計・光学位相制御用オープンループZステージ
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【光学向け】光学用位相シフター S-312
光学・干渉計向け 位相制御用オープンループZステージ
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【研究開発向け】B-421 BIX 小型ピエゾ駆動リニアステージ
研究開発用途に対応｜最大33mmストロークの超小型ピエゾステージ
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【光学調整向け】B-421 BIX 小型ピエゾ駆動リニアステージ
光学系の精密アライメントに対応する超小型ピエゾ駆動リニアステージ
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【半導体製造向け】B-421 小型ピエゾ駆動リニアステージ
最大33mmストローク、半導体装置向け超小型ピエゾ駆動リニアステージ
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【ライフサイエンス向け】N-332 ピエゾリニアステージ
細胞観察における高精度位置決めを実現するリニアステージ
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【ナノテクノロジー向け】高発生力＆高精度ピエゾリニアステージ
ナノテクノロジー分野に最適。高発生力とサブナノ精度を両立するリニアステージ。
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【光学顕微鏡向け】高発生力＆高精度ピエゾリニアステージ
光学顕微鏡の高精度走査に。サブナノ分解能と高発生力を両立するPICMAWalkドライブ
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【半導体製造向け】高発生力＆高精度ピエゾリニアステージ
ピエゾWalk駆動、ナノメートル精度、半導体製造の位置決めに
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【宇宙開発向け】ヘキサポッド H-850
±0.2µm再現性・6軸高精度制御。天文光学系の精密アライメントに。
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【研究開発向け】ヘキサポッド H-850
±0.2µmの再現性、アブソリュートエンコーダ搭載の重荷重対応モデル
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