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ボイスコイルモーターコントローラ C-414 小型制御ユニット
最大5A出力×豊富なI/O×PID制御で、ボイスコイル駆動を自在にコントロール
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ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズ
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
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高精度XY軸リニアモーターステージV-P01(精密位置決め対応)
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
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高精度Z軸ボイスコイルモーターステージ V-Z03｜精密高剛駆動
高速応答＆高剛性ガイドで、サブミクロンの精密Z軸制御を実現
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高負荷リニアモーターステージ V-D07｜1000N耐荷＆高精度
長寿命・高剛性設計｜高負荷環境でも精密でスムーズな動作を実現
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PICMAWalkingドライブ用デジタルコントローラ
1～3軸 インクリメンタルセンサ付きPICMAWalk ドライブ用
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＜新製品＞高発生力＆高精度ピエゾリニアステージ N-332
ピエゾWalk駆動による、ストローク25mm以上のリニアステージ
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PI社 ヘキサポッド一覧カタログ
PI社：ヘキサポッド位置決めシステムのグローバルカンパニー・高精度ヘキサポッド位置決めステージ一覧
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【7つの応用事例】ヘキサポッド6軸位置決めシステム
積み重ね多軸ステージとの比較解説・7つの応用事例・ヘキサポッドの簡易比較表
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グラナイト専門メーカのピー・ヂー・ダブリューがPIグループに！
極めて高い石の研磨技術を有し、大型で高精度なグラナイトを必要とするFPD業界を中心に、装置の土台や定盤、治具等を製造しています。
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パラレルキネマティック・ヘキサポッド H-811
コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム
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小型で25mmまでの動作量：リニアステージ M-11x型
サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ
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813mm高速直動リニアステージ V-817
リニアモータ×エンコーダで高荷重600Nでも滑らか＆高速応答
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多軸モーションシステム X-417
用途に合わせて、必要な軸数や動作仕様に合った組合せで構成が可能
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最大8度のボイスコイル駆動TipTiltミラーステージ
衛星通信・ビーム安定化などのアプリケーションに最適な大角度駆動が可能なステージです。
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ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ
2光子（3光子）蛍光顕微鏡・デジタルスライドスキャン・ウェーハ検査に最適なピエゾステージ。≤18μm～7mmまでのトラベルレンジ
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ベッドサイズヘキサポッド 位置決めステージ
放射線治療のための患者様を正確に6軸位置決めが可能
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小型デジタルピエゾコントローラ E-709.1C1L
24 bit DAC×20 kHzサンプリングレート、アナログ制御も対応1軸ピエゾコントローラ
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最大800µm長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノの分解能をもち、最大800 µm動作、高速・高精度PIFOC(R)フォーカススキャナ
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最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小動作10nmで、最大7mm移動、1kgまでの無電源保持 微細観察を支える高精度Z軸
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132 mm幅薄型高速リニアモーターステージ V-857
132mm幅、最大速度5 m/s、0.1 µm最小動作量のリニアモータステージ
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800mm動作量のリニアモーターステージ V-855
0.1 µmの最小インクリメンタルモーションで、無負荷時の最大速度4000mm/秒、最大加速度50 m/s²、耐荷重600N
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新製品！薄型エアベアリング Z Tip/Tilt ステージ
1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージをリリース！
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300mm高速XYエアベアリングプラナースキャナ A-311
エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm
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A-63xシリーズ 高精度エアベアリング回転ステージ
薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。
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A-688型 エアベアリング大開口回転ステージ
薄型で最大260mmの開口を持つ高精度エアベアリング回転ステージ。一般的なメカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません
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F-712.PM1型 光学パワーメーター
・20KHzの信号帯域幅 ・ハイダイナミクスレンジ ・周波数レンジ：400-1550nm ・入力電流レンジ：~1mA
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【長いトラベルレンジを実現】ヘキサポッド H-840.G2IHP
製造技術や測定技術におけるアライメントおよび位置決め用途の最も厳しい要件に対処
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高速・6自由度フォトニクスアライメント F-713.Hxx
片面および両面、直立およびロープロファイル、高精度アライメントルーチン
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高速Tip/Tiltピエゾステージ S-331
動作角：±5 mrad (光学各10 mrad)、10 kHzの共振周波数により、ダイナミック＆高分解能＆高速動作
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