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グラナイト専門メーカのピー・ヂー・ダブリューがPIグループに!
極めて高い石の研磨技術を有し、大型で高精度なグラナイトを必要とするFPD業界を中心に、装置の土台や定盤、治具等を製造しています。
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パラレルキネマティック・ヘキサポッド H-811
コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム
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小型で25mmまでの動作量:リニアステージ M-11x型
サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ
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813mm高速直動リニアステージ V-817
リニアモータ×エンコーダで高荷重600Nでも滑らか&高速応答
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多軸モーションシステム X-417
用途に合わせて、必要な軸数や動作仕様に合った組合せで構成が可能
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最大8度のボイスコイル駆動TipTiltミラーステージ
衛星通信・ビーム安定化などのアプリケーションに最適な大角度駆動が可能なステージです。
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ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ
2光子(3光子)蛍光顕微鏡・デジタルスライドスキャン・ウェーハ検査に最適なピエゾステージ。≤18μm~7mmまでのトラベルレンジ
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ベッドサイズヘキサポッド 位置決めステージ
放射線治療のための患者様を正確に6軸位置決めが可能
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小型デジタルピエゾコントローラ E-709.1C1L
24 bit DAC×20 kHzサンプリングレート、アナログ制御も対応1軸ピエゾコントローラ
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最大800µm長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノの分解能をもち、最大800 µm動作、高速・高精度PIFOC(R)フォーカススキャナ
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最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小動作10nmで、最大7mm移動、1kgまでの無電源保持 微細観察を支える高精度Z軸
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V-857型 高負荷&小幅&高速リニアモーターステージ
132mmの小幅で長動作の高精度&高速リニアモーターステージをリリース!
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800mm動作量のリニアモーターステージ V-855
0.1 µmの最小インクリメンタルモーションで、無負荷時の最大速度4000mm/秒、最大加速度50 m/s²、耐荷重600N
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新製品!薄型エアベアリング Z Tip/Tilt ステージ
1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージをリリース!
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300mm高速XYエアベアリングプラナースキャナ A-311
エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm
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A-63xシリーズ 高精度エアベアリング回転ステージ
薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。
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A-688型 エアベアリング大開口回転ステージ
薄型で最大260mmの開口を持つ高精度エアベアリング回転ステージ。一般的なメカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません
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F-712.PM1型 光学パワーメーター
・20KHzの信号帯域幅 ・ハイダイナミクスレンジ ・周波数レンジ:400-1550nm ・入力電流レンジ:~1mA
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H-840.G2IHP型 高精度ヘキサポッドステージ
お客様の声を元に、ヘキサポッドの駆動精度をより高めました!XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能に
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高速・6自由度フォトニクスアライメントシステム F-712.H
片面および両面、直立およびロープロファイル、高精度アライメントルーチン
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高速Tip/Tiltピエゾステージ S-331
動作角:±5 mrad (光学各10 mrad)、10 kHzの共振周波数により、ダイナミック&高分解能&高速動作
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シリコンフォトニクス・光学アライメントにお薦め!9軸精密駆動
任意に回転中心が変更可能!ピエゾの併用でナノオーダーの位置決め可能!
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【応用事例:高精度ヘキサポッドシステム】ALMA望遠鏡の副反射鏡
ALMA天文台の50基のアンテナに採用!低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な環境条件に適合
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最高0.1μmの再現性!高精度リニアステージ 1軸 L-836
歪みのないアルミニウムベースで高度の安定性を実現可能! ドイツ製ならではの高スペック!
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高耐荷重リニアステージ『L/V-412,L/V-417』
最大トラベルレンジは813mm!循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可
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PIMag 高精度開口部付XY ステージ『V-738』
高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ!一方向再現性は0.1μmです
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PIMag リニアステージ『V-408』
アイロンコア3相リニアモータ!駆動力を摩擦プラットフォームに伝達するコンパクト設計のPIMag リニアステージ
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PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ『U-780』
0.1μmの分解能!熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。最大135mm×85mmのトラベルレンジ
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PILine XYステージ『U-723』
ピエゾモータ駆動により22mm動作の小型XY軸ステージ セルフロックで位置保持
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PILine 高速・薄型回転ステージ『U-651』
内蔵のインクリメンタルエンコーダーは最大4μ radの分解能!精密な位置コントロールを行います
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