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【製造業向け】ヘキサポッド H-850
最大250kgの重量物を高精度に位置決め。アブソリュートエンコーダ搭載。
最終更新日
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【研究・実験向け】ヘキサポッド H-825
30kg耐荷重・±0.1µm再現性の6軸精密ヘキサポッド
最終更新日
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【製造業向け】ヘキサポッド H-825
30kg耐荷重・±0.1µm再現性の6軸高剛性ヘキサポッド
最終更新日
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【研究向け】パラレルキネマティック・ヘキサポッドH-811.I2
コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム
最終更新日
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【製造業向け】小型ヘキサポッド H-811.I2
コンパクトながら高精度な6軸位置決めシステムで製造工程を最適化
最終更新日
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【バイオテクノロジー向け】PIHera XYピエゾステージ
細胞操作・ライブセル観察に最適。サブナノ精度で安定したXY位置決めを実現。
最終更新日
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【顕微鏡向け】PIHera XYピエゾステージ
最大1800µmの長ストロークと、静電容量センサーによる優れた精度で顕微鏡のサンプル位置決めに最適
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【半導体技術向け】可変ストローク対応 XYピエゾステージ
最大1800µmの長ストロークとナノ精度。独自の静電容量センサーで、物理的接触をせずに位置測定
最終更新日
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【計測・検査向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
摩擦ゼロの回転精度で、校正作業の精度向上に貢献
最終更新日
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【光学調整向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で光学系の調整をサポート
最終更新日
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【半導体製造向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で、半導体製造プロセスを革新。
最終更新日
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長時間運転の位置再現性を維持するリニアステージ
±0.15µm再現性と高安定構造により、光学アライメントやレーザー加工工程に対応
最終更新日
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【精密測定向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
摩擦ゼロ、高精度位置決めを実現する小型エアベアリングステージ
最終更新日
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【半導体製造向け】A-143 高精度リニアエアベアリングステージ
摩擦ゼロ、±0.2 µmの高精度位置決めを実現する小型ステージ
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【FPD製造向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
摩擦ゼロ、高精度位置決め。FPD検査工程の品質向上に貢献。
最終更新日
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【レーザー加工向け】A-143 高精度リニアステージ
レーザー切断の精度を向上。±0.2 µmの高精度位置決めを実現。
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【光学機器向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
摩擦ゼロ、高精度位置決め。光学機器の調整作業を革新。
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【光学アライメント向け】クリーンルーム環境での使用可 A-121
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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【半導体検査向け】高精度位置決めに最適 A-121
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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【計測・検査向け】高精度回転ステージ V-62xシリーズ
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
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【半導体向け】V-62xシリーズ 高精度回転ステージ
開口付、高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現
最終更新日
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【研究向け】高精度・高剛性・長寿命の回転ステージ V-62x
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
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【レーザー加工向け】ダイレクトドライブ高精度回転ステージ
開口付で高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現する高速・高精度回転ステージ
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【レーザー微細加工向け】産業用ヘキサポッド H-815
さまざまな方向で信頼性の高い位置決めを実行
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【光学部品向け】コンパクトな設計ながら6軸の動作を実行可能
フォトニクスにおける要求の厳しいアライメントプロセスに対応
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【半導体製造向け】産業用途向けヘキサポッド H-815
安定したウェーハ搬送を実現する産業用6軸位置決めシステム
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【製造業向け】高精度かつ小型・高速動作の6軸位置決めシステム
コンパクトながら高精度で高速動作を実現。信頼性の高い6軸位置決めシステム
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6軸ピエゾステージ｜光結合再現性を維持するNanoCube
±250µm＋±26.2mradの6自由度補正で、ファイバーアライメント時の光軸ズレを低減
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ナノレベルの制御で再現性を向上。研究現場向け「位置決め」製品特集
研究室・科学機器向け位置決めソリューションをサポートする製品ラインナップをご紹介
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位相シフター｜干渉計測時の位相再現性を維持する光学Zステージ
ティルト補正付きZ動作により、干渉計や光学測定時の光軸ズレを低減
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