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エアベアリング搭載・摩擦のない回転ステージ A-63x
薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。
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【光学向け】大開口・エアベアリング回転ステージ A-68x
薄型・高精度、光学系の調整に最適なエアベアリング回転ステージ
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【半導体向け】ウェーハ検査・計測用エアベアリング回転ステージ
薄型・高精度。半導体製造の位置決めを高精度化
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大口径エアベアリング・超高精度用途向け回転ステージ A-68x
最大260mmの大開口を備えた薄型・高精度エアベアリング回転ステージ
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F-712.PM1型 光学パワーメーター
・20KHzの信号帯域幅 ・ハイダイナミクスレンジ ・周波数レンジ：400-1550nm ・入力電流レンジ：~1mA
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【光学向け】ヘキサポッド H-840.G2IHP
ナノメートル分解能で6自由度アライメントを実現する高剛性ヘキサポッド
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【ライフサイエンス向け】ヘキサポッド H-840.G2IHP
6自由度制御で高度バイオイメージングを支える高精度ヘキサポッド
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測定工程の再現性を維持する高精度ヘキサポッド
XY40nm・Z20nmステップ制御により、光学アライメントや検査工程の位置ズレを抑制
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【光学部品向け】6自由度フォトニクスアライメント F-713
高速6自由度制御でアライメント時間を大幅短縮するフォトニクスソリューション
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【防衛光学向け】高速・6自由度フォトニクスアライメント
アライメント時間を99%削減する、PIの高速光学アライメントソリューション
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【研究向け】6自由度フォトニクスアライメント F-713.Hxx
ナノレベル精度と高速スキャンを両立する6DoFフォトニクスアライメント
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6軸アライメント装置（光学検査／高速補正）フォトニクス向け
光ファイバー・フォトニクス検査向け。高速6DoF制御で光学結合品質を安定化
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【フォトニクス向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
共振周波数10 kHz。高速・高分解能を両立するフォトニクス向けTip/Tiltステージ
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【光通信向け】高速チップ/チルトピエゾステージ S-331
10 kHzの高速応答。高分解能2軸Tip/Tiltで光通信のビーム制御を高度化
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【レーザー加工向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
10 kHzの高速応答でビームを精密制御。レーザー加工向けTip/Tiltステージ
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Tip/Tiltステージ｜ビーム位置ズレを抑えるピエゾ機構
10kHz共振による高速補正で、レーザー制御や光通信時のビーム位置ズレを低減
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事例紹介：ALMA望遠鏡の副反射鏡の背面へのヘキサポッド活用
ALMA天文台の50基のアンテナに採用！低気圧、最大50度の温度差、強風、埃、雨、海抜5000メートルという過酷な環境条件に適合
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【光学位置決め向け】小型・高精度1軸リニアステージ L-836
光学系の精密位置調整に最適。幅60mm・最大200mmストロークのコンパクト高精度リニアステージ
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【レーザー加工向け】高精度1軸リニアステージ L-836
レーザー切断・レーザー加工に最適な高精度位置決めステージ
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省スペース装置の位置決め品質を維持するリニアステージ
最大200mmストロークと0.1µm再現性により、光学アセンブリや検査工程の高精度搬送に対応
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高耐荷重リニアステージ『L/V-412,L/V-417』
最大トラベルレンジは813mm！循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可
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クリアアパーチャ設計 高精度XYステージ V-738
動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現
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【研究開発向け】自動化技術分野に適したリニアステージ V-408
アイロンコア3相リニアモータ搭載、高精度位置決めを実現するリニアステージ
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リニアステージ（高速スキャン／20nm位置決め）精密検査向け
高応答スキャニング向け。±0.1µm繰返し精度で高速動作時の位置ズレを低減
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【顕微鏡向け】U-723 XY軸小型リニアステージ
顕微鏡のサンプル位置決めに。高精度、省スペース、セルフロック。
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【光学調整向け】超音波ピエゾモータ搭載XYステージ U-723
光学用途の高精度位置決めに。小型・分解能 10 nm、電源OFF時セルフロック。
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小型XYステージ｜微細サンプルの位置再現性を維持するピエゾモータ
42×42mmの省スペース設計。顕微鏡・バイオ用途で±0.2µmの高再現位置決めを実現
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【マイクロマニピュレーション向け】薄型回転ステージ U-651
高さ14 mmの薄型、φ36 mmの開口、顕微鏡走査に最適
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【光学計測向け】ピエゾモータ駆動薄型高速回転ステージ U-651
高さ14 mm、φ36 mm開口、光学系の微調整に最適
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薄型回転ステージ｜光学アライメント品質を維持するピエゾ駆動
高さ14mm・中央開口付き。レーザー・光学系の角度位置決めを省スペースで実現
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