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【光学調整向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。透過光光学系に最適な高精度ナノポジショナー
最終更新日
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【半導体製造向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。半導体製造装置向け高精度ナノポジショナー
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高精度・高動特性を実現するパラレルキネマティクス P-733.2
再現性 ±1nm、XY軸100 µm＋Z軸10 µmストローク、50 mm開口で透過光にも最適
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【計測向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。高再現性ナノポジショニングで校正精度を向上
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【精密加工向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。ナノ精度で微細加工を支える高性能スキャナ
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【光学分野向け】開口50mmピエゾスキャナ P-517/527
ナノレベルの位置決めを実現する、摩擦ゼロのマルチ軸ピエゾスキャナ
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開口50 mmマルチ軸ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能
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0.1nm分解能 ナノポジショナ P-620.1/629.1
1軸50〜1800 µmのストロークのタイプ、静電容量センサーで高分解能動作
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P-611.1ピエゾナノポジショナー
低価格で、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクトな、リニアポジショニングシステム
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【バイオテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
バイオ解析に最適な高精度ナノポジショニングステージ
最終更新日
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【計測機器向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能の高精度ナノポジショニング
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【ナノテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク、最小0.1 nm分解能のナノポジショニング
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0.1 nm分解能 ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能、耐荷重10Nの高速ピエゾステージ
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【フォトニクス向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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【精密測定向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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【バイオテクノロジー向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小位置決めに
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【ナノテクノロジー向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
最終更新日
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【顕微鏡向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小走査に
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【光学調整向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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0.1 nm分解能 ピエゾナノアクチュエータ P-753
15–38 µmストローク、0.1 nm分解能、小型高速応答ピエゾステージ
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【顕微鏡向け】P-737 試料フォーカシングZステージ
顕微鏡の高速フォーカシングを実現する高精度PIFOC Zステージ
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【バイオテクノロジー向け】P-737 PIFOC Zステージ
ライブセル観察を支える高速・高分解能ピエゾZフォーカシングステージ
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P-737 PIFOC試料フォーカシングZステージ
顕微鏡標本用の薄型ロングストローク ピエゾZナノポジショナー。ストローク～250μm （500μmまでカスタマイズ可能）
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【光学向け】高荷重対物レンズフォーカススキャナ P-726
100 µmストローク・0.4nm分解能 高荷重対物レンズ対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
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【ナノテクノロジー向け】レンズフォーカススキャナ P-726
ナノ構造解析を支える 高荷重対応・サブナノ分解能フォーカススキャナ
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【バイオテクノロジー向け】対物レンズピエゾステージ P-726
100 µmストローク、サブナノ分解能、210 g負荷時560 Hzの高応答フォーカススキャナ
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【半導体ウェーハ検査向け】レンズフォーカススキャナ P-726
ウェーハ検査の高スループット化を支える 高荷重対応・高精度Zフォーカススキャナ
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高荷重対物レンズフォーカススキャナ P-726
100 µmのストローク、システム分解能0.4nm、荷重210g時でも560Hzの共振周波数
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P-0xx.xxH PICA(TM) Thruアクチュエータ
高負荷ピエゾスタックアクチュエータ、開口部あり。センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備え
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【ナノテクノロジー向け】積層ピエゾ P-882・P-888
超高剛性、サブナノ分解能、耐湿性、長寿命を実現するピエゾアクチュエータ
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