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【光学調整向け】超音波モータ駆動小型回転ステージ U-628
サイズ50x50x19mm、無限回転、最大720°/s、電源OFF時セルフロック
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中空ロータリーステージ｜光路を塞がず角度再現性を維持する小型機構
中央開口構造によりレーザー・顕微鏡光路を確保しながら、高速回転位置決めを実現
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【顕微鏡向け】高精度位置計測を実現する小型リニアステージ
マイクロマニピュレーションに適した小型リニアステージ
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小型リニアステージ｜停止位置の安定性を維持するピエゾモーター駆動
セルフロック機構により、顕微鏡・光学装置内で停止時の発熱や位置ズレを低減
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【レーザー加工向け】チップ/チルトピエゾプラットフォーム
大偏向角×高速応答で、レーザービーム制御の精度とスループットを向上
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【顕微鏡走査向け】チップチルトピエゾプラットフォーム S-335
±35 mradの高角度制御と高速応答を実現するピエゾチップ/チルトプラットフォーム
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【レーザースキャン向け】チップチルトピエゾプラットフォーム
±5 mrad×3 ms収束、0.1 µrad分解能の高速ビームステアを実現
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ビームステアリング｜ビーム位置安定性を維持するTip/Tilt
±5mradを3msで高速収束。レーザースキャニングや画像安定化時の照射位置ズレを低減
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【顕微鏡向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
高倍率観察をナノメートル分解能で支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
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【レーザー加工向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
微細レーザー加工の焦点・位置制御を支える、100 µm × 3軸ナノポジショナー
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【ナノテクノロジー向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
ナノスケール位置制御を支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
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【光学向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
100 µm × 3軸。光学アライメントをナノ精度で実現するコンパクトXYZピエゾステージ
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【半導体製造向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
半導体装置の微細位置補正に。100 µm × 3軸ナノポジショナー
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XYZピエゾステージ｜高速3軸補正でも位置再現性を維持
0.4nm分解能と100µm XYZ動作により、光軸調整と微細走査を安定化
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【光学調整向け】高推力PICMAWalkアクチュエータ
最大12 mm/s・50 N高推力。光学調整に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ
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【半導体検査向け】50N高推力・真空仕様有りのアクチュエータ
最大12 mm/s・50 N高推力。半導体検査工程に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ。
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半導体検査の位置決め品質を維持 PICMAWalkアクチュエータ
サブナノ分解能と50N高推力により、高速動作時でも微細位置ズレを抑制
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【光学アライメント向け】リニアモーター駆動のステージ V-731
光学アライメントに最適！高精度位置決めリニアモータXY軸ステージ
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スキャン品質を維持する高精度XYステージ
1nm分解能と0.025µm再現性により、レーザー加工や計測工程の位置ズレを抑制
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【電子機器製造向け】モーター選択可 リニアステージ L-505
小型・高剛性設計と選べるモーター（DCモーターまたはステッピングモーター）で、組立工程の効率化と安定化に貢献
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小型装置の位置決め品質を維持するリニアステージ
オートフォーカスや医療機器向けに、狭小スペースでも高再現性位置決めを実現
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【精密測定装置向け】耐荷重10 kg・高精度ZステージL-310
高剛性クロスローラーガイド採用。精密測定・研究用途のZ方向位置決めに最適
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【研究開発向け】高精度Zステージ L-310
顕微鏡・光学実験・精密測定のZ軸位置決めに。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【光学調整・光学アライメント向け】高精度Zステージ L-310
光学アライメント・フォーカス調整に。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【半導体検査装置向け】最大荷重10kg・Zステージ L-310
ウェーハ検査・チップ検査のZ軸位置決めに。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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長時間運転のフォーカス再現性を維持する高精度Zステージ
ゼロプレイボールネジと高剛性構造により、検査・光学工程の位置ズレを抑制
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高荷重でも位置再現性を維持するリニアアクチュエータ
300N高推力と真空対応構造により、大型光学系や研究設備の高精度位置決めを実現
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PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』
PIMagボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラ。幅広いサポート機能が搭載
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【計測校正向け】耐荷重最大100N エアベアリング A-110
高精度な校正作業をサポートするエアベアリングステージ
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【光学向け】高精度位置決めに エアベアリングステージ A-110
光学系の精密調整に。高精度な位置決めを実現するエアベアリングステージ
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