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超音波ピエゾモータ搭載の小型リニアステージ U-521
サイズ35x35x15mm、18 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
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【レーザー加工向け】チップ/チルトピエゾプラットフォーム
大偏向角×高速応答で、レーザービーム制御の精度とスループットを向上
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【顕微鏡走査向け】チップチルトピエゾプラットフォーム S-335
±35 mradの高角度制御と高速応答を実現するピエゾチップ/チルトプラットフォーム
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【レーザースキャン向け】チップチルトピエゾプラットフォーム
±5 mrad×3 ms収束、0.1 µrad分解能の高速ビームステアを実現
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ミラーや光学素子向けの大偏向角ビームステアリング S-335
±5 mrad×3 ms収束、10 kHz共振――0.1 µrad分解能の高速ビームステア
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【顕微鏡向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
高倍率観察をナノメートル分解能で支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
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【レーザー加工向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
微細レーザー加工の焦点・位置制御を支える、100 µm × 3軸ナノポジショナー
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【ナノテクノロジー向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
ナノスケール位置制御を支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
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【光学向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
100 µm × 3軸。光学アライメントをナノ精度で実現するコンパクトXYZピエゾステージ
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【半導体製造向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
半導体装置の微細位置補正に。100 µm × 3軸ナノポジショナー
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ファイバーアライメント・走査型顕微鏡用ピエゾステージ P-616
各40mmサイズで、XYZ軸100µm動作のコンパクトXYZピエゾステージ
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【光学調整向け】高推力PICMAWalkアクチュエータ
最大12 mm/s・50 N高推力。光学調整に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ
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【半導体検査向け】50N高推力・真空仕様有りのアクチュエータ
最大12 mm/s・50 N高推力。半導体検査工程に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ。
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高推力PICMAWalkアクチュエータ N-331
最大速度12 mm/s、50 Nの駆動力、ナノ位置決め動作の組込みアクチュエータ
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【光学アライメント向け】リニアモーター駆動のステージ V-731
光学アライメントに最適！高精度位置決めリニアモータXY軸ステージ
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摩擦レスで滑らか動作を実現 高精度XYステージ L-731
高精度・高安定性のロングストロークXYステージ
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【電子機器製造向け】モーター選択可 リニアステージ L-505
小型・高剛性設計と選べるモーター（DCモーターまたはステッピングモーター）で、組立工程の効率化と安定化に貢献
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DCまたはステッピングモーター搭載 リニアステージ L-505
リミットスイッチ内蔵！DCステッピングモータ付きコンパクトリニアステージ
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【精密測定装置向け】耐荷重10 kg・高精度ZステージL-310
高剛性クロスローラーガイド採用。精密測定・研究用途のZ方向位置決めに最適
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【研究開発向け】高精度Zステージ L-310
顕微鏡・光学実験・精密測定のZ軸位置決めに。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【光学調整・光学アライメント向け】高精度Zステージ L-310
光学アライメント・フォーカス調整に。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【半導体検査装置向け】最大荷重10kg・Zステージ L-310
ウェーハ検査・チップ検査のZ軸位置決めに。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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リニア・回転ステージと組み合わせ可 高精度Zステージ L-310
工業、研究分野の精密ポジショニングに！高デューティサイクルのZステージ
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高耐荷重リニアアクチュエータ『L-239型』
研究、光学アライメントなどの使用に！高分解能でハイパワーなリニアアクチュエータ
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PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』
PIMagボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラ。幅広いサポート機能が搭載
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【計測校正向け】耐荷重最大100N エアベアリング A-110
高精度な校正作業をサポートするエアベアリングステージ
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【光学向け】高精度位置決めに エアベアリングステージ A-110
光学系の精密調整に。高精度な位置決めを実現するエアベアリングステージ
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スキャンや高精度位置決めに エアベアリングステージ A-110
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
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【製造業向け】H-840 ヘキサポッドシステム
±50 mm / ±30°対応・高速6軸制御ヘキサポッド
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【研究向け】H-840 ヘキサポッドシステム
高速6軸制御を実現するコンパクトヘキサポッド
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