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小型Z軸ピエゾステージ｜高速Z制御でもフォーカス再現性を維持
0.2nm分解能と120µm動作量により、顕微鏡の高速フォーカス制御を安定化
最終更新日
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【計測向け】XYZ軸精密位置決めステージ P-561~563
プローブ位置決めをサブナノ精度で実現するPIMars精密ナノステージ
最終更新日
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【顕微鏡向け】PIMars XYZ軸開口部付ピエゾステージ
顕微鏡の試料位置決めをナノ精度で実現するPIMars XYZナノステージ
最終更新日
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XYZピエゾステージ｜大開口でも測定再現性を支える機構
66mm開口とXYZ最大300µm動作により、透過光観察とウェハ位置決めを安定化
最終更新日
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【光学調整向け】コンパクト2軸ナノポジショナ
44mm角・最大120µmストローク・0.2nm分解能の高精度ナノポジショナー
最終更新日
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【半導体製造装置向け】ピエゾナノポジショナー
44 mm角のコンパクト設計。120 µm動作量と0.2 nm分解能を実現するピエゾナノポジショニングステージ
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XY/XZピエゾステージ｜光学位置ズレを抑える2軸補正機構
0.2nm分解能と120µm動作量で、干渉計・光学調整の位置再現性を維持
最終更新日
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【顕微鏡向け】走査型顕微鏡に最適なXYピエゾスキャナ P-734
平坦度5 nm・分解0.3 nm、高速＆高精度動作を実現するXY軸ピエゾスキャナ
最終更新日
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XYピエゾスキャナ｜高速平面走査でも軌道平坦性を維持
平坦度5nm・0.3nm分解能で、表面形状解析や半導体位置決めの測定誤差を低減
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【光学調整向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。透過光光学系に最適な高精度ナノポジショナー
最終更新日
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【半導体製造向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。半導体製造装置向け高精度ナノポジショナー
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XYZナノポジショニング｜多軸動作でも軌道再現性を維持する機構
±1nm再現性と50mm開口で、マスク／ウェハ位置決めや透過光観察を安定化
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【レーザー加工向け】開口部66×66mm 多軸ピエゾスキャナー
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造で、レーザービームを精密制御
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【計測向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。高再現性ナノポジショニングで校正精度を向上
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【精密加工向け】開口66mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。ナノ精度で微細加工を支える高性能スキャナ
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【光学分野向け】開口部付多軸ピエゾスキャナー P-517/527
ナノレベルの位置決めを実現する、摩擦ゼロのマルチ軸ピエゾスキャナ
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多軸ピエゾスキャナー｜大開口でも微細走査再現性を維持
66mm開口とXYθz補正により、リソグラフィ・光学検査時の位置ズレを低減
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【光学調整向け】可変ストローク・多軸対応ナノポジショナー
光学系の微調整に最適。0.1nm分解能の高精度ナノポジショナー
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【顕微鏡向け】静電容量センサー内臓の小型X軸ピエゾステージ
顕微鏡試料のナノ精度走査に。0.1nm分解能と高リニアリティで安定した位置決めを実現
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【バイオテクノロジー向け】PIHera 小型X軸ピエゾステージ
0.1nm分解能と高安定制御でやさしいナノ位置決め。
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【ナノポジショニング向け】0.1nm分解能小型X軸ピエゾステージ
0.1nm分解能と高リニアリティで、ナノレベル計測を安定化。
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【半導体向け】0.1nm分解能 小型X軸ピエゾステージ
半導体製造における高精度位置決めを実現。素早く正確な整定動作
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0.1nm分解能ピエゾステージ｜長距離位置決めの再現性を保つX軸
最大1800µmストロークと実位置直接計測により、干渉計・光学アライメントの位置ズレを低減
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【精密機械組立向け】ピエゾナノポジショナー P-611.1
従来のモーターステージでは実現できないナノ精度組立に最適
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【顕微鏡向け】P-611.1ピエゾナノポジショナー
低価格・コンパクト設計で顕微鏡の走査をサポート
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【半導体製造向け】高精度ピエゾナノポジショナー P-611.1
ナノメートル精度の位置決めを、コンパクトかつ高コストパフォーマンスで実現
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小型リニアピエゾステージ｜省スペースでも位置再現性を維持
44mm角の小型筐体で、顕微鏡・半導体試験向け微細位置補正に対応
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【バイオテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
バイオ解析に最適な高精度ナノポジショニングステージ
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【計測機器向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能の高精度ナノポジショニング
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【ナノテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク、最小0.1 nm分解能のナノポジショニング
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