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XYZナノポジショニング｜多軸動作でも軌道再現性を維持する機構
±1nm再現性と50mm開口で、マスク／ウェハ位置決めや透過光観察を安定化
最終更新日
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【レーザー加工向け】開口部66×66mm 多軸ピエゾスキャナー
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造で、レーザービームを精密制御
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【計測向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。高再現性ナノポジショニングで校正精度を向上
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【精密加工向け】開口66mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。ナノ精度で微細加工を支える高性能スキャナ
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【光学分野向け】開口部付多軸ピエゾスキャナー P-517/527
ナノレベルの位置決めを実現する、摩擦ゼロのマルチ軸ピエゾスキャナ
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多軸ピエゾスキャナー｜大開口でも微細走査再現性を維持
66mm開口とXYθz補正により、リソグラフィ・光学検査時の位置ズレを低減
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【光学調整向け】可変ストローク・多軸対応ナノポジショナー
光学系の微調整に最適。0.1nm分解能の高精度ナノポジショナー
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【顕微鏡向け】静電容量センサー内臓の小型X軸ピエゾステージ
顕微鏡試料のナノ精度走査に。0.1nm分解能と高リニアリティで安定した位置決めを実現
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【バイオテクノロジー向け】PIHera 小型X軸ピエゾステージ
0.1nm分解能と高安定制御でやさしいナノ位置決め。
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【ナノポジショニング向け】0.1nm分解能小型X軸ピエゾステージ
0.1nm分解能と高リニアリティで、ナノレベル計測を安定化。
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【半導体向け】0.1nm分解能 小型X軸ピエゾステージ
半導体製造における高精度位置決めを実現。素早く正確な整定動作
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0.1nm分解能ピエゾステージ｜長距離位置決めの再現性を保つX軸
最大1800µmストロークと実位置直接計測により、干渉計・光学アライメントの位置ズレを低減
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【精密機械組立向け】ピエゾナノポジショナー P-611.1
従来のモーターステージでは実現できないナノ精度組立に最適
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【顕微鏡向け】P-611.1ピエゾナノポジショナー
低価格・コンパクト設計で顕微鏡の走査をサポート
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【半導体製造向け】高精度ピエゾナノポジショナー P-611.1
ナノメートル精度の位置決めを、コンパクトかつ高コストパフォーマンスで実現
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小型リニアピエゾステージ｜省スペースでも位置再現性を維持
44mm角の小型筐体で、顕微鏡・半導体試験向け微細位置補正に対応
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【バイオテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
バイオ解析に最適な高精度ナノポジショニングステージ
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【計測機器向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能の高精度ナノポジショニング
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【ナノテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク、最小0.1 nm分解能のナノポジショニング
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ナノポジショニングステージ｜軌道再現性を維持する0.1nm分解能
Pitch/Yaw ±1µradの高直進性で、干渉計・走査型顕微鏡の光軸ズレを低減
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【フォトニクス向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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【精密測定向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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【バイオテクノロジー向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小位置決めに
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【ナノテクノロジー向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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【顕微鏡向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小走査に
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【光学調整向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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ピエゾナノアクチュエータ｜直進性を維持 0.1nm分解能ステージ
実可動部の直接計測により、干渉計・フォトニクス用途の微細位置ズレを低減
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【顕微鏡向け】P-737 試料フォーカシングZステージ
顕微鏡の高速フォーカシングを実現する高精度PIFOC Zステージ
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【バイオテクノロジー向け】P-737 PIFOC Zステージ
ライブセル観察を支える高速・高分解能ピエゾZフォーカシングステージ
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ピエゾZステージ｜高速フォーカス制御で観察品質を維持
最大250µmストロークとミリ秒応答で、共焦点・蛍光顕微鏡のZ観察を高速化
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