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ピーアイ・ジャパン株式会社 6軸ステージ
摩擦を抑えながら信頼性の高い動作を実現！マイクロ製造、医療技術、工具制御に使用可能！
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高速・小型の高精度リニアモーター/アクチュエータ N-310
コンパクト・高速・長ストローク。コンパクトでコスト効率に優れた設計のリニアモーター/アクチュエーター
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【半導体向け】精密位置決め・半導体技術・ウェハ検査に N-111
長距離ナノポジショニング用PiezoWalk(R)ドライブ。高分解能・コンパクト設計。
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ナノ位置決めピエゾリニアアクチュエータ N-111
長距離ナノポジショニング用のPiezoWalk(R)ドライブ。ストローク～5mm、 高分解能、および発生力～40Nでコンパクト
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【光学向け】大偏向角チップチルトピエゾステージ S-330
高速ステアリングミラー用途に最適な高ダイナミクスチップチルトステージ
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大偏向角・高ダイナミクスを実現ピエゾチップチルト S-330
高ダイナミック、大動作角のピエゾチップ／チルトプラットフォームにより高速のステアリングミラーが可能。
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【ナノポジショニング向け】高精度Zステージ 0.1nm分解能
0.1nm分解能と0.02%リニアリティ。サブナノZ軸制御で製造・計測精度を向上
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【半導体向け】PIHera高精度Z軸ステージ 0.1 nm分解能
サブナノメートルの分解能を提供。0.1nm分解能・高リニアリティ垂直ポジショニング
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PIHera 高精度Z軸ステージ P-620.Z～P-622.Z
0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御
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【フォトニクス向け】Z・チップ・チルト開口部付ピエゾステージ
ナノレベル動作と大開口で、フォトニクス分野のアライメントを最適化
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【精密測定向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベルのZ・チップチルト制御を実現。66mm開口の高精度ピエゾステージ
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【顕微鏡走査向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージP-5x8
高倍率観察を支えるナノレベル走査。66mm開口のZ・チップチルトピエゾステージ
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【光学調整向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベルの調整を実現する、開口部付きピエゾステージ
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Z・チップ・チルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベル動作量はZ軸100µmと200µm チップチルト軸1mradと2mradのタイプ 66mm開口で透過光にも最適
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【精密測定向け】44mm角・小型ピエゾステージ P-611.Z
44mm角の筐体で、高さ計測をナノレベルで実現。
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【光学向け】分解能最大0.2nm ピエゾステージ P-611.Z
44mm角の筐体で、光学系の焦点調整をナノレベルで実現
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44mmで120µm動作の小型Z軸ピエゾステージ P-611.Z
44 mm×44 mm の筐体で 120 µm 動作の Z 軸ピエゾナノステージ
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【計測向け】XYZ軸精密位置決めステージ P-561~563
プローブ位置決めをサブナノ精度で実現するPIMars精密ナノステージ
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【顕微鏡向け】PIMars XYZ軸開口部付ピエゾステージ
顕微鏡の試料位置決めをナノ精度で実現するPIMars XYZナノステージ
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XYZ軸300µm動作 精密位置決めステージ P-561~563
66 mm開口×XYZ軸最大300 µmをナノオーダーで精密位置決め
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【光学調整向け】コンパクト2軸ナノポジショナ
44mm角・最大120µmストローク・0.2nm分解能の高精度ナノポジショナー
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【半導体製造装置向け】ピエゾナノポジショナー
44 mm角のコンパクト設計。120 µm動作量と0.2 nm分解能を実現するピエゾナノポジショニングステージ
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ナノポジショニング向け小型2軸ピエゾ フォトニクスや半導体に
44 mm角の面積で、120 µm動作量、0.2 nm分解能をもつXY軸・XZ軸ステージ
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【顕微鏡向け】走査型顕微鏡に最適なXYピエゾスキャナ P-734
平坦度5 nm・分解0.3 nm、高速＆高精度動作を実現するXY軸ピエゾスキャナ
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開口56 mmつきXY軸ピエゾスキャナ P-734
平坦度5 nm・分解0.3 nm、共振周波数500 Hzで高速＆高精度動作を実現
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【光学調整向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。透過光光学系に最適な高精度ナノポジショナー
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【半導体製造向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。半導体製造装置向け高精度ナノポジショナー
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高精度・高動特性を実現するパラレルキネマティクス P-733.2
再現性 ±1nm、XY軸100 µm＋Z軸10 µmストローク、50 mm開口で透過光にも最適
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【レーザー加工向け】開口部66×66mm 多軸ピエゾスキャナー
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造で、レーザービームを精密制御
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【計測向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。高再現性ナノポジショニングで校正精度を向上
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