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【電子機器製造向け】モーター選択可 リニアステージ L-505
小型・高剛性設計と選べるモーター（DCモーターまたはステッピングモーター）で、組立工程の効率化と安定化に貢献
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小型装置の位置決め品質を維持するリニアステージ
オートフォーカスや医療機器向けに、狭小スペースでも高再現性位置決めを実現
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【精密測定装置向け】耐荷重10 kg・高精度ZステージL-310
高剛性クロスローラーガイド採用。精密測定・研究用途のZ方向位置決めに最適
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【研究開発向け】高精度Zステージ L-310
顕微鏡・光学実験・精密測定のZ軸位置決めに。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【光学調整・光学アライメント向け】高精度Zステージ L-310
光学アライメント・フォーカス調整に。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【半導体検査装置向け】最大荷重10kg・Zステージ L-310
ウェーハ検査・チップ検査のZ軸位置決めに。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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長時間運転のフォーカス再現性を維持する高精度Zステージ
ゼロプレイボールネジと高剛性構造により、検査・光学工程の位置ズレを抑制
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高荷重でも位置再現性を維持するリニアアクチュエータ
300N高推力と真空対応構造により、大型光学系や研究設備の高精度位置決めを実現
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PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』
PIMagボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラ。幅広いサポート機能が搭載
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【計測校正向け】耐荷重最大100N エアベアリング A-110
高精度な校正作業をサポートするエアベアリングステージ
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【光学向け】高精度位置決めに エアベアリングステージ A-110
光学系の精密調整に。高精度な位置決めを実現するエアベアリングステージ
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スキャンや高精度位置決めに エアベアリングステージ A-110
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
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【製造業向け】H-840 ヘキサポッドシステム
±50 mm / ±30°対応・高速6軸制御ヘキサポッド
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【研究向け】H-840 ヘキサポッドシステム
高速6軸制御を実現するコンパクトヘキサポッド
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ヘキサポッド｜6軸位置誤差を補正する高精度アライメント機構
MEMS・光学部品の位置と角度を一括補正し、検査・校正工程の再現性を向上
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ウェーハ検査の測定再現性を高めるリニアモータ
非接触リニアエンコーダにより、バックラッシュ由来の位置誤差を低減
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【半導体向け】精密位置決め・半導体技術・ウェハ検査に N-111
長距離ナノポジショニング用PiezoWalk(R)ドライブ。高分解能・コンパクト設計。
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長時間計測の位置再現性を維持するピエゾアクチュエータ
5nm分解能と無通電ロックにより、ウェーハ検査やナノ計測時の熱ドリフトを抑制
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【光学向け】大偏向角チップチルトピエゾステージ S-330
高速ステアリングミラー用途に最適な高ダイナミクスチップチルトステージ
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チップチルト｜広範囲走査でもビーム安定性を維持するピエゾ機構
20mrad超の大偏向角とサブミリ秒応答により、高速レーザースキャンを安定化
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【ナノポジショニング向け】高精度Zステージ 0.1nm分解能
0.1nm分解能と0.02%リニアリティ。サブナノZ軸制御で製造・計測精度を向上
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【半導体向け】PIHera高精度Z軸ステージ 0.1 nm分解能
サブナノメートルの分解能を提供。0.1nm分解能・高リニアリティ垂直ポジショニング
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ピエゾZステージ｜高速Z制御でもフォーカス再現性を維持
1kHz級共振と0.1nm分解能により、共焦点顕微鏡の高速Zスキャンを安定化
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【フォトニクス向け】Z・チップ・チルト開口部付ピエゾステージ
ナノレベル動作と大開口で、フォトニクス分野のアライメントを最適化
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【精密測定向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベルのZ・チップチルト制御を実現。66mm開口の高精度ピエゾステージ
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【顕微鏡走査向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージP-5x8
高倍率観察を支えるナノレベル走査。66mm開口のZ・チップチルトピエゾステージ
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【光学調整向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベルの調整を実現する、開口部付きピエゾステージ
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Tip/Tiltピエゾステージ｜高さと角度ズレを同時補正する機構
Z最大200µm＋2mrad補正により、干渉計・光学調整時の位相ズレを低減
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【精密測定向け】44mm角・小型ピエゾステージ P-611.Z
44mm角の筐体で、高さ計測をナノレベルで実現。
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【光学向け】分解能最大0.2nm ピエゾステージ P-611.Z
44mm角の筐体で、光学系の焦点調整をナノレベルで実現
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