【分析事例】光デバイス
【分析事例】光デバイス
光デバイスの分析事例をご紹介します
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【分析事例】STEM・EDXと像シミュレーション結晶構造評価
STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます
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【分析事例】撥水箇所の成分分析
TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です
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【分析事例】深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析
様々なAl組成のAlGaN中不純物の定量が可能です
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信頼性試験の一覧
信頼性試験（Reliability Test）
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【分析事例】STEM、EBSD像シミュレーション多結晶体構造解析
像シミュレーションを併用した結晶形の評価
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【分析事例】デバイスの金属膜中および界面における金属不純物の評価
めっきなどの膜中・界面の不純物をTOF-SIMSで評価できます。
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