【測定法】電子顕微鏡観察・分析

◆AES（オージェ電子分光法） ◆SEM（走査電子顕微鏡法） ◆EBIC（電子線誘起電流法) ◆EBSD（電子後方散乱回折法） ◆EDX（エネルギー分散型X線分光法） ◆EPMA（電子線マイクロ分析法） ◆TEM（透過電子顕微鏡法） ◆EELS（電子エネルギー損失分光法) ◆SIM（走査イオン顕微鏡法)