[TDS]昇温脱離ガス分析法
真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法。水素や水も感度よく確認
基本情報
■加熱部 試料をステージ上に置き、ステージ下部から赤外線を照射することにより試料を加熱します。 温度制御は、ステージ側にある熱電対にて行ないます。試料上部側の熱電対により試料表面側の温度を測定することも可能です。 ■質量分析部 加熱により発生したガスは加速した電子の衝突よりプラスイオン化され、質量電荷比に応じて分離されます。
価格情報
測定対象によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
納期
用途/実績例
・層間絶縁膜の水分管理 ・H2の脱離 ・ドライエッチングの残渣確認 ・ウエハ表面の汚染評価 等
詳細情報
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まずはご相談ください ★分析プランのご提案から行います★ 御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。 分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。 まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!
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訪問セミナー実施します ★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★ お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。 ◆セミナー内容例 ・MSTの分析手法を広く解説 ・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説 ・お客様がご依頼の分析データを解説 03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!
この製品に関するニュース(23)
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固体分析 新サービス開始のお知らせ
グロー放電質量分析計(GDMS)による新サービスを5月中旬より開始します。 主成分から微量成分まで70元素以上の同時分析が可能です。 「多くの元素を感度よく測りたい!!」というご要望にお応えします。
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前処理⾃動化システムによるPCR検査 2022年7⽉開始
【新型コロナウイルス】◆前処理⾃動化システムによるPCR検査◆ 2022年7⽉開始 〜⼈協働ロボットを⽤いた独⾃の前処理⾃動化システムをPCR検査に導⼊〜 PCR検査において感染リスクが伴う⼯程を⾃動化することで検査者を感染リスクから守り、作業負担を軽減します。クロス汚染の回避、トレーサビリティ確保にも配慮したシステムです。 ⼀般財団法⼈材料科学技術振興財団は、⼈協働ロボットを⽤いた独⾃の前処理⾃動化システムを導⼊し、本システムによる新型コロナウイルスPCR検査を7⽉から開始いたします。 今回導入するシステムは、検査者を感染リスクから守り作業負担を軽減することを目的に、衛生検査所としてPCR検査を受託しているMSTが企画・考案しました。ヤマト科学株式会社に設計・製作を委託し、株式会社デンソーウェーブ社製人協働ロボットCOBOTTAⓇを用いPCR検査前処理工程の自動化を実現しています。 MSTはPCR検査サービスを通じ、コロナ禍における国民生活および経済活動の維持・活性化に貢献していきます。 ※COBOTTAⓇは株式会社デンソーウェーブの登録商標です。
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【変異ウイルスも対応】新型コロナウイルスPCR検査
5月より検査価格の改定をいたします。 変異ウイルススクリー二ング検査も対応できます。 ・PCR検査 3,300円(税込・返送料別) ・PCR検査(変異ウイルス検査付) 5,500円(税込・返送料別) まずはお問合せください。 https://www.mst-covid19-pcr.com/ ★QRコード https://www.mst.or.jp/Portals/0/images/qr_PCR.png ★問合せ先 TEL:0120-727-551/03-3749-2525 E-mail:DNA-info@mst.or.jp
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非破壊分析サービス 2018年4月より開始のお知らせ
2018年4月2日、MSTは最新型の加工・分析装置を導入し非破壊分析サービスを開始します。電子デバイス・医薬品・食品の製品開発・品質管理など幅広い分野を対象に分析サービスを提供します。 非破壊分析は、製品を破壊することなく内部の状態を可視化する技術です。 今回MSTでは最新型の加工・分析装置を導入し、非破壊分析の実施が可能となりました。受託による分析サービスをご提供いたします。
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TOF-SIMS新サービス 2016年10月より提供開始のお知らせ
2016年10月、MSTは最新型の高分解能TOF-SIMSを導入し分析サービスを開始します。医薬品・バイオテクノロジ・医療機器や、エレクトロニクス関連の製品開発・品質管理など幅広い分野を対象に分析サービスを提供します。 これまでも実績のあるTOF-SIMS分析の技術を基盤に、さらに高品質なデータでお客様の研究開発をサポートします。 詳細は下記URLをご覧ください。 http://www.mst.or.jp/corporate/tabid/1211/Default.aspx 分析事例のご紹介 •TOF-SIMS新サービスのご紹介【医薬品・バイオテクノロジ・医療機器向け】 http://www.mst.or.jp/special/tabid/1194/Default.aspx •TOF-SIMS新サービスのご紹介【エレクトロニクス分野向け】 http://www.mst.or.jp/special/tabid/1210/Default.aspx
取り扱い会社
MSTは受託分析サービスをご提供する財団法人です。 TEM・SIMS・XRDなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 知識豊富な営業担当が、適切な分析プランをご提案。貴社に伺ってのご相談も、もちろん可能です。 ISO9001・ISO27001取得。 製品開発・不良原因の解明・特許調査はぜひご相談ください! MSTは、あなたの「困った!」を解決へと導きます。