【分析事例】IGZO（粉末・バルク・薄膜）の組成・不純物分析
主成分及び金属不純物元素の定量分析
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用途／実績例
測定法：ICP-MS 製品分野：酸化物半導体 分析目的：組成評価・同定・微量濃度評価
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