【分析事例】ウェハ上異物・付着物の 無機・有機同時定性分析
微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定
基本情報
測定法:TOF-SIMS 製品分野:LSI・メモリ・電子部品 分析目的:組成評価・同定
価格帯
納期
用途/実績例
LSI・メモリ・電子部品の分析です。
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