【分析事例】ウェハ上異物・付着物の 無機・有機同時定性分析
微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定
TOF-SIMSには有機物、無機物の同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できるなどの特徴がありますので、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Siウェハ上で純水を乾燥した事例を紹介します。光学顕微鏡では点状の異物や曇りがわずかに見えるだけです。TOF-SIMSで測定した結果、汚れ部では、炭化水素、PDMS、アミドなど自然に吸着しやすい有機成分が凝集していることがわかりました。
基本情報
測定法：TOF-SIMS 製品分野：LSI・メモリ・電子部品 分析目的：組成評価・同定
価格帯
納期
用途／実績例
LSI・メモリ・電子部品の分析です。
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