【分析事例】スズ(錫, Sn)表面の深さ方向状態評価
表面処理による改質層や変質層の評価が可能！
TOF-SIMSは深さ方向分解能が良く、また結合状態に対応したフラグメントイオンが得られるため、 表面数nm付近の層構造の評価が可能です。 本資料では、スズ酸化物、酸化スズ水和物の各標準試料の測定から得られた フラグメントイオンの情報をもとに、スズ板表面の層構造を分析した事例を紹介します。 この技術を応用することで、表面処理による改質層や変質層の評価が可能です。
基本情報
測定法：TOF-SIMS 製品分野：電子部品、製造装置・部品、高分子材料 分析目的：化学結合状態評価、不純物評価・分布評価
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用途／実績例
電子部品、製造装置・部品、高分子材料の分析です。
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