検査装置
検査装置
当社で取り扱う、「検査装置」についてご紹介いたします。
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インクマーク検査装置
パターンの影響をほとんど受けず安定してインクマークの面積を測定します！様々なウェハ品種に対応する特殊な光学系。
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ウエハー内部クラック検査装置
検査後の商品は品質保証が可能になります！目に見えない情報を撮影し自動判定するウエハー内部クラック検査装置
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シリンダー内面外観装置
目視検査では不可能な定量化や見逃し欠陥を確実に検査いたします。検査時間を大幅に削減する全自動検査装置
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パターン検査装置
マスタ画像との比較で異物や欠陥を検出！位置自動補正やエリア別スペック設定機能を搭載したシステム
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メインローラー溝検査機『MPI-300A』
全長の撮影と記録・測定を実現！ウェハスライサー用の溝検査機
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レンズ外観検査装置
一般的な顕微鏡目視測定に比べ圧倒的な高精度を実現！高精度CMOSカメラで短時間・高再現性を可能にします。
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化合物複合検査装置
6インチまでのウエハー検査に有効！同じ座標系での検査が可能な化合物系ウエハー検査装置
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高速異物検査装置
一般的な顕微鏡目視測定に比べ、圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現！高精度CMOSカメラによる自動異物測定
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針先端部検査装置
検査後の商品は確かな品質保証が可能！インラインで24時間の全自動化を実現する高精度測定装置
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全自動12インチ対応プロファイラ『WEIM-12F』
高精度・高速自動測定を実現！インライン管理に対応した全自動プロファイラ複合検査機。
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浮き検査測定装置
ワイヤーの半田部分の浮き検査を高速高精度で実現！鏡面や複雑な形状にも対応する高精度センサー搭載製品
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裏面クラック検査装置
測定精度が一定で測定者の技量に依存しません。連続運転で安定した検査品質を実現
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