インクマーク検査装置
パターンの影響をほとんど受けず安定してインクマークの面積を測定します！様々なウェハ品種に対応する特殊な光学系。
当装置は、パターンの影響をほとんど受けず安定してインクマークの面積を測定できる自動検査装置です。 安定した検出能力で様々なウェハ品種に対してインクを浮き出させる特殊な光学系を用いております。簡単な設定でウェハ種類毎に照明の輝度値と2値化レベルを決めるだけで測定でき、プローバとはGPIBで通信を行います。また、プローバを使わず専用のXYステージを付けて稼動する装置も製作可能です。 【特長】 ■様々なウェハ品種に対してインクを浮き出させる特殊な光学系 ■パターンの影響をほとんど受けず安定してインクマークの面積を測定 ■簡単な設定で照明の輝度値と2値化レベルを決めるだけ ■GPIB通信による自動検査が可能 ■専用のXYステージを付けた稼動装置も製作可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】 ■130万画素CMOSカメラ ■インクマーク撮像光学系（レンズ、LED照明） ■パソコン ■視野サイズ：16mm×16mm MAP表示 ■最小インクマークサイズ：φ100μ以上 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■ウェハ上のインクマークの自動検査 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。