化合物複合検査装置
6インチまでのウエハー検査に有効！同じ座標系での検査が可能な化合物系ウエハー検査装置
当製品は、6インチまでのSiC、GaN、サファイアウエハーなどの内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効な化合物系ウエハー検査装置です。 検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の4つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを備え、自動ステージにより同じ座標系での検査を可能にします。オプションで、同じ座標系にAFMやウエハー厚さ測定を載せることも可能です。 【特長】 ■4つの光学系（スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過）を搭載 ■全光学系にオートフォーカス機能を搭載 ■自動ステージにより同じ座標系での検査が可能 ■オプションでAFMやウエハー厚さ測定の追加が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】 ■スーパーマクロ（SM-75）：ウェハ局所のシュリーレン画像観察、局所画像の合成処理によるウェハ全体画像 ■微分干渉顕微画像ステーション：ウェハ局所の暗視野顕微、明視野顕微画像観察 ■暗視野斜光画像ステーション：局所ウェハ表面の暗視野斜光画像観察 ■偏光透過画像ステーション：局所ウェハ表面の偏光透過画像観察 ■自動ステージ：各ステーションを一体構造とし、ユニット間のワーク移動＆座標連動を行う ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途（一部）】 ■ウエハー内部のマイクロパイプおよび脈離の検査 ■表面傷検査、研磨痕検査 ■異物検査（内部含む） ■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションAFM） ■スクラッチ、ピット、泡の検査 ■非接触型厚さ測定（オプション厚さ計） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。