ウエハー内部クラック検査装置
検査後の商品は品質保証が可能になります!目に見えない情報を撮影し自動判定するウエハー内部クラック検査装置
当製品は、半導体ウェハノッチ部分の内部クラックをSWIRカメラを用いて検査するウエハー内部クラック検査装置です。 可視光では見えない情報を撮影できるSWIRカメラを活用し、検査結果の自動データ保存や良品/不良の自動判定、不良発生時のアラート出力が可能です。検査後の商品は品質保証が可能になり、手載せの手動機から24時間対応の全自動機まで対応します。 【特長】 ■半導体ウェハノッチ部分の内部クラックを検査 ■目に見えない情報を撮影可能なSWIRカメラを採用 ■検査結果の自動データ保存・自動判定(良品/不良)が可能 ■不良発生時の自動アラート出力機能 ■手載せの手動機から24時間対応の全自動機まで対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【構成】 <回転機構部含む> ■スケーラーOP:1.1/1.4インチカメラ ■テレセントリックレンズ ■スポット光源(電源含む) ■θステージ(回転角度360度) ■回転筐体 ■カメラ照明台 ■画像処理用パソコン(モニター) ■緊急停止ボタン <画像部> ■カメラ:SWIRカメラ ■レンズ:テレセントリック倍率2倍 ■照明:SWIR LEDライト ■照明電源:PCによるUSB制御 ■視野サイズ:約4.48mm×3.36mm ■画像合成機能:X、Y軸及び回転 ■画素分解能:約1.6um/画素 ■CAD比較検査:オプション ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途/実績例
【用途】 ■半導体ウェハノッチ部分の内部クラック検査 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。












