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メインローラー溝検査機『MPI-300A』

全長の撮影と記録・測定を実現!ウェハスライサー用の溝検査機

『MPI-300A』は、溝形状をプロファイル断面撮影と電動スキャンで全長の撮影と記録・測定ができるメインローラー溝検査機です。 プロファイルカメラの透過光がローラー影断面を創作し、テレセントリックレンズカメラで撮影してローラー全長を移動しフレーム録画と画像測定を行います。カート式でスライサーの脇にセットして簡単に調整して検査できます。 【特長】 ■プロファイル断面撮影と電動スキャンで全長の撮影・記録・測定が可能 ■スライサー実装ローラーやワイヤーモード検査に対応 ■カート式でスライサーの脇にセットして簡単に調整可能 ■摩耗検査や耐久モニター、ローラー交換時期の判定資料として活用可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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基本情報

【仕様】 ■測定項目:溝角度、溝幅、山幅、溝の深さ、溝間の距離、溝番号、判定機能 ■測定範囲:ローラー直径150mmから400mm、長さ650mm ■装置機能:撮影視野H7mmV4mm 分解能3.4μm、650mm 撮影30秒、測定120秒 ■装置取付:スライサーの脇にセットしてスライサーローラーの平行と高さをスライドアームでラフ調整とXZステージで微調整 ■操作:画面で溝ピッチの入力とステージ移動で開始点と終了点を設定しスタート ■カート架台外寸:約幅 1000mm×奥行 600mm×高さ 1000mm 重量約30kg ■収納・電源:コントローラー、測定ノートPC、照明電源を架台収納、AC100V4口 10A ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

納期

用途/実績例

【用途】 ■ウェハスライサーのメインローラー溝検査 ■ローラーの受け入れ検査 ■スライサーローラー検査 ■スライサー実装ローラー検査 ■ワイヤーモード検査 ■摩耗検査 ■耐久モニター ■ローラー交換時期の判定資料 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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取り扱い会社

弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。