パターン検査装置
マスタ画像との比較で異物や欠陥を検出！位置自動補正やエリア別スペック設定機能を搭載したシステム
当製品は、マスタとなる正常な表面を登録し、検査画像と比較することで正確な判別を行うシステムです。 登録画像との比較により、画像表面に付着している異物、傷、汚、パターン欠陥を検出します。アライメントパターンの位置表示によるアライメントずれ検査や寸法検査を行い、異物等の面積・サイズ（最大径）を測定して良品/不良品を判別。検査結果データはファイリングして蓄積されます。また、プローバ（又はXYステージ）との連動による全表面移動検査や、位置ずれの自動補正が可能です。 【特長】 ■マスタ画像と検査画像の位置ずれを自動補正 ■画面エリア別に個別の判定条件を設定可能（最大10スペック） ■異物、傷、汚、パターン欠陥の検出および寸法検査に対応 ■検査結果データをファイリングして保存 ■プローバ（又はXYステージ）連動で全表面を移動検査 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【システム構成】 ■CCDデジタルカメラ ■Z1軸、Z2軸、θ1軸、θ2軸、X軸、Y1軸、Y2軸 ■カメラ電源 ■パソコン ■ステージ＆サポート コントロールユニット ■カメラボード コントロールボード (PIO-16/16(PCI)) (PIO-32/32(PCI)) ■I/O コントロール ユニット ■アクチュエータ コントロールユニット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■画像表面に付着している異物、傷、汚、パターン欠陥の検出 ■アライメントずれの検査 ■寸法検査 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。