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【分析事例】TOF-SIMSによる部品表面シミ・水はじき原因調査

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【分析事例】TOF-SIMSによる部品表面シミ・水はじき原因調査

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切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定

Al材表面に水はじきのよいシミがあることがわかりました。そのシミ部をテープに付着（転写）させ、TOFSIMSで分析を行いました。 「シミ部を転写させたテープ表面」からは、「Al材表面のシミ部」と同じフラグメントが検出されており、シミの原因物質がテープに転写されているものと考えられます。このように、原因物質をテープに転写させて採取するこの方法は、切断ができない部品に有効です。

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【分析事例】TOF-SIMSによる部品表面のシミ・水はじきの原因調査_C0098

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