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【分析事例】SIMSによるSi酸化膜・ITO膜中の｢水」の評価

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【分析事例】SIMSによるSi酸化膜・ITO膜中の｢水」の評価

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｢重水(D2O)処理」を用いた水素の深さ方向分析

厚み1um以下の薄膜における水(H2O)の浸透性を、膜中の重水素(D)の分布を測定することで評価した事例をご紹介します。薄膜中にもともと水素（H)が存在する場合、水の影響による水素であるかを区別することが困難です。そこで、重水（D2O)による処理を行い、天然同位体である重水素の分布をSIMS※1にて深さ方向に測定しました。重水素の深さ方向分布を調べることで、水がどの深さまで浸透したかを推定することが可能です。

関連リンク - https://www.mst.or.jp/casestudy/tabid/1318/pdid/36…

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【分析事例】有機薄膜太陽電池電極界面の状態評価および有機膜の分散状態評価_C0177

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