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ご希望者全員プレゼント！表面分析の基礎と受託分析事例
〈XPS・TOF-SIMS〉 表面分析とは何か・表面分析の種類等、基礎的な解説を充実。また表面分析を用いた代表的な事例を掲載。
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【分析事例】単結晶Si表面のダメージ評価
高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能
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【分析事例】SNDMのSiCMOS高感度評価
SiCデバイスの拡散層構造を可視化できます（拡散層構造の高感度評価）
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【分析事例】溶液中の金属量分析
純水やウエハ洗浄液等、様々な溶液の高感度分析が可能です
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【分析事例】SiCディスクリートパッケージの非破壊3D構造観察
ディスクリートパッケージ内部の構造を非破壊で立体的に観察
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【分析事例】SiCTrenchMOSFETトレンチ側壁の粗さ評価
デバイス特性に関わるトレンチ側壁の粗さを定量評価
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【分析事例】毛髪の成分分析
目的に応じた毛髪成分の評価が可能です
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【分析事例】STEM・EDXと像シミュレーション結晶構造評価
STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます
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【分析事例】SiCTrench MOSFETの拡散層評価
SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます
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【分析事例】分子動力学計算を用いたアモルファスSiNx膜構造解析
シミュレーションによってアモルファス膜のミクロな構造解析が可能です
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【分析事例】ワイドギャップ半導体ドーパントサイト同定電子状態評価
ミクロな原子構造を計算シミュレーションによって評価可能
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【分析事例】DRAMチップのTEM・SEMによる構造解析
製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング
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【分析事例】SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較
着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です
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【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察
金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です
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【分析事例】シームレスカプセルの三次元構造観察および膜厚解析
X線CTによりシームレスカプセルの評価・解析が可能
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【分析事例】パンケーキ内部の空隙評価
食品の内部構造をX線CTによって非破壊観察
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【分析事例】製剤中農薬原体のイメージング分析
製剤中の農薬原体・無機成分の分布を可視化できます
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【分析事例】トランジスタ内部の状態評価
デバイス内部の異常を非破壊で評価します
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【分析事例】FT-IRによるエポキシ樹脂の硬化度評価
官能基の変化を捉えることで樹脂の硬化度を評価することが可能です
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【分析事例】リチウムイオン二次電池内部の非破壊観察
X線CTによる観察事例
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【分析事例】真空中での有機成分の脱離評価
複合解析により特定の有機成分の脱離について温度依存性評価が可能です
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【分析事例】X線CTによる発泡ゴムの引っ張り試験
サンプル内部の形状変化をin situで測定・解析
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【分析事例】エポキシ樹脂のTDS分析
真空中での有機物からの脱ガス挙動を調査可能です
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【分析事例】TDSによる銅板・はんだの同時加熱分析
部材同士を接触させ、実プロセスに近い環境での脱ガス評価が可能
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【分析事例】FT-IRによるポリイミド樹脂の硬化度評価
官能基の変化を捉えることで樹脂のイミド化率を評価することが可能です
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［SXES］軟X線発光分光法
SXESは、物質から発光される軟X線を用いて化学結合状態を評価する手法です。
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X線CT法
X-ray Computed Tomography
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【分析事例】C-SAMによる貼り合せウエハ内部の空隙調査
デバイス内部の構造を複合的に評価します
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【分析事例】化粧品の非破壊分析
X線CTにより製品の内部構造を非破壊で評価可能
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【分析事例】食品中の有機体・無機体炭素量測定
固体中の有機体・無機体炭素量を評価することが可能です
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