【分析事例】SIMSによるMEMS中ドーパントの三次元分布評価
イメージングSIMSにより微小領域・微量元素の濃度分布を可視化できます
市販品MEMSについて、BとAsの三次元イメージングSIMS測定を行いました（測定領域：75μｍ角、深さ：約1.5μm）。測定後のデータ処理により、任意断面・任意深さの面分布、任意領域の深さ方向分布、任意箇所のラインプロファイルの抽出が可能です。 注） イオンビームで試料を掘りながら、深さ方向にイメージを取り込みますので、破壊分析となります。
基本情報
詳しいデータはカタログをご覧ください
価格情報
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納期
用途／実績例
LSI・メモリの分析です
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取り扱い会社
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