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【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察

FIB法による特定箇所の平面TEM観察

ナノオーダーでの加工が可能なFIB技術を用いることにより、特定箇所の平面TEM観察が可能です。 これにより、断面からの観察では構造の確認が困難なホール側壁のキャパシタ絶縁膜のONO三層構造(シリコン酸化膜/シリコン窒化膜/シリコン酸化膜)が確認できます。

関連リンク - https://www.mst.or.jp/casestudy/tabid/1318/pdid/32…

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LSI・メモリの分析です

【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察_C0005

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