［SRA］広がり抵抗測定法
SRA：Spreading Resistance Analysis
SRAは測定試料を斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です。 SRP（Spreading Resistance Profiling）とも呼ばれます。 ・ 導電型(p型/n型)の判定が可能 ・ 深さ方向のキャリア濃度分布の評価が可能 ・ 濃度約1E12～2E20 /cm3の広範囲のキャリア濃度の分析が可能 ・ 約20μｍ×100μｍ以上の大きさのパターン試料の測定が可能 ・ SRAとSIMSを組み合わせて評価を行う事で活性化率の評価が可能
基本情報
斜め研磨した試料面に2探針を接触させ、直下の電気抵抗を測定します。 校正用標準試料の測定値と比較する事で、測定した拡がり抵抗を比抵抗（Ω・cm）に換算します。 さらに、比抵抗とキャリア濃度の関係を示すThurberの曲線を用いてキャリア濃度（/cm3）を算出します。 なお、キャリア濃度と比抵抗には以下の関係があります。
価格情報
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納期
用途／実績例
・イオン注入サンプルの熱処理後の活性化率の評価 ・MOSデバイスの拡散層、エピタキシャル層の評価 ・エピタキシャル層のオートドープの評価 ・IGBT、FWDのキャリア濃度分布の評価
詳細情報
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