環境中微量金属元素分析
ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法
クリーンルームや生産ラインなどの環境中に浮遊する金属元素は、製品に付着・混入することで、製品の性能悪化の原因となり得ます。ICP-MSでは、清浄なSiウエハで暴露試験を行い、表面に付着した金属元素量をpptレベルで測定することができます。 なお、事前に洗浄処理をしたSiウエハの貸出しも行っております。
基本情報
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価格情報
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納期
用途／実績例
環境の分析です
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