一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 公式サイト

GC/MSによる発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析

GC/MS:ガスクロマトグラフィー質量分析法

発生ガス濃縮装置はチャンバー内に入れた試料から発生したガスを捕集管にトラップさせる装置です。捕集管にトラップすることで微量の脱ガス成分を濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます。試料の種類に合わせて、適したサイズのチャンバーを選択することができ、最大350℃までの加熱に対応しています。 ○ 比較的大きいサイズ(数cmオーダー)のサンプルに対応 ○ ヘッドスペース法と比較して2~3桁程度感度良く測定が可能 ○ ウエハ両面からの有機汚染評価が可能 ○ フォトマスク(レチクル)の有機汚染評価が可能 ○ ヘキサデカン、デカメチルシクロペンタシロキサンなどを用いた換算定量が可能

MSTホームページ

基本情報

詳しくは、お問い合わせください。

価格帯

納期

用途/実績例

電子部品・製造装置・部品・日用品の分析です

GCMSによる発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析_B0241

技術資料・事例集

この製品に関するニュース(1)

取り扱い会社

MSTは受託分析サービスをご提供する財団法人です。 TEM・SIMS・XRDなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 知識豊富な営業担当が、適切な分析プランをご提案。貴社に伺ってのご相談も、もちろん可能です。 ISO9001・ISO27001取得。 製品開発・不良原因の解明・特許調査はぜひご相談ください! MSTは、あなたの「困った!」を解決へと導きます。

おすすめ製品