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【分析事例】XPSによる広域定量マッピング

最大70×70mm領域の組成分布評価が可能です

XPSによる広域定量マッピングの事例を紹介します。 シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価しました。ピーク強度ではなく存在量(原子濃度)をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受けにくく、且つ広域でのデータ取得が可能です。 試料表面の組成分布を俯瞰的に評価できるため、有機系・無機系の汚染、変色、表面処理等の調査に 適しています。

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基本情報

測定法:XPS 製品分野:電子部品・製造装置・部品・日用品 分析目的:組成分布評価

価格帯

納期

用途/実績例

電子部品・製造装置・部品・日用品の分析です。

【分析事例】XPSによる広域定量マッピング_C0600

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