【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価
Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出
Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 （クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）
基本情報
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用途／実績例
測定法：XPS 製品分野：LSI・メモリ・電子部品 分析目的：化学結合状態評価・組成評価・同定
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