【分析事例】有限要素法による強誘電体キャパシタ金属の応力評価
昇温・降温時の異種材料間にかかる応力分布を定量化できます
HfxZr1-xO2(HZO)を用いたFeFET(強誘電体トランジスタ)は高速動作、低消費電力により次世代トランジスタの候補として期待されていますが、分極が小さいという欠点があります。FeFET特性改善のために、HZOの強誘電性を高めることが有効であり、HZO層へ応力を加え、強誘電性を示す結晶相を増やす方法が提案されています。本事例は有限要素法を用いて、TiN、W、Pt、HZOなどの線膨張係数が異なる材料から構成される積層構造において、降温時に各層に生じる応力を評価しました。 測定法：計算科学・AI・データ解析 製品分野：LSI・メモリ・電子部品・製造装置・部品 分析目的：形状評価・構造評価・応力・歪み評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
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LSI・メモリ・電子部品・製造装置・部品の分析です。
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