【分析事例】ウェハ上パーティクルの組成分析
SEM-EDXによる形状観察及び簡易定量分析
基本情報
測定法・加工法：［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM） 製品分野：LSI・メモリ、製造装置・部品 分析目的：組成評価・同定、形状評価
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用途／実績例
LSI・メモリ、製造装置・部品の分析です。
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