白色干渉計測法
非接触・非破壊で3次元測定可能
基本情報
走査型白色干渉計は高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触（非破壊）3次元測定可能な手法です。
価格情報
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納期
用途／実績例
・半導体など ウエハなどの研磨面・蒸着膜表面の粗さ 欠陥・異常部の観察 加工形状観察（パターン・ホール・トレンチ・ベベル・MEMS） ・金属 ボールベアリング・ボンディング（ハンダ）表面形状 ギア・カッター・鋼板のキズ・破断面・金型の形状 めっき表面の粗さ・摩擦面の観察 ・その他の素材 切断面の観察 ガラス・光学部品・電気部品の形状観察
詳細情報
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取り扱い会社
MSTは受託分析サービスをご提供する財団法人です。 TEM・SIMS・XRDなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 知識豊富な営業担当が、適切な分析プランをご提案。貴社に伺ってのご相談も、もちろん可能です。 ISO9001・ISO27001取得。 製品開発・不良原因の解明・特許調査はぜひご相談ください！ MSTは、あなたの「困った！」を解決へと導きます。
