白色干渉計測法
非接触・非破壊で3次元測定可能
白色干渉計測法は、高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触（非破壊）三次元測定が可能な装置です。 ・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置 ・非接触・非破壊で三次元測定が可能 ・広い視野（50μm×70μm ～ 5mm× 7mm） ・高垂直分解能（0.1nm） ・広いダイナミックレンジ（＜150μm）
基本情報
走査型白色干渉計は高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触（非破壊）3次元測定可能な手法です。
価格情報
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納期
用途／実績例
・半導体など ウエハなどの研磨面・蒸着膜表面の粗さ 欠陥・異常部の観察 加工形状観察（パターン・ホール・トレンチ・ベベル・MEMS） ・金属 ボールベアリング・ボンディング（ハンダ）表面形状 ギア・カッター・鋼板のキズ・破断面・金型の形状 めっき表面の粗さ・摩擦面の観察 ・その他の素材 切断面の観察 ガラス・光学部品・電気部品の形状観察
詳細情報
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