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X-365 高精度モジュラー式XYガントリーシステム
精度・剛性・柔軟性を兼ね備えたXY機構
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【研究開発向け】光学用位相シフター S-312
干渉計・光学位相制御用オープンループZステージ
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【光学向け】光学用位相シフター S-312
光学・干渉計向け 位相制御用オープンループZステージ
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【研究開発向け】B-421 BIX 小型ピエゾ駆動リニアステージ
研究開発用途に対応｜最大33mmストロークの超小型ピエゾステージ
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【光学調整向け】B-421 BIX 小型ピエゾ駆動リニアステージ
光学系の精密アライメントに対応する超小型ピエゾ駆動リニアステージ
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【半導体製造向け】B-421BIX 小型ピエゾ駆動リニアステージ
最大33mmストローク、半導体装置向け超小型ピエゾ駆動リニアステージ
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【ライフサイエンス向け】N-332 ピエゾリニアステージ
細胞観察における高精度位置決めを実現するリニアステージ
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【宇宙開発向け】ヘキサポッド H-850
±0.2µm再現性・6軸高精度制御。天文光学系の精密アライメントに。
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【研究開発向け】ヘキサポッド H-850
±0.2µmの再現性、アブソリュートエンコーダ搭載の重荷重対応モデル
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【製造業向け】ヘキサポッド H-850
最大250kgの重量物を高精度に位置決め。アブソリュートエンコーダ搭載。
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【研究・実験向け】ヘキサポッド H-825
30kg耐荷重・±0.1µm再現性の6軸精密ヘキサポッド
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【製造業向け】ヘキサポッド H-825
30kg耐荷重・±0.1µm再現性の6軸高剛性ヘキサポッド
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【研究向け】パラレルキネマティック・ヘキサポッドH-811.I2
コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム
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【製造業向け】小型ヘキサポッド H-811.I2
コンパクトながら高精度な6軸位置決めシステムで製造工程を最適化
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【計測・検査向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
摩擦ゼロの回転精度で、校正作業の精度向上に貢献
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【光学調整向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で光学系の調整をサポート
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【半導体製造向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で、半導体製造プロセスを革新。
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高い移動精度と耐荷重性を備えたリニアステージ「L-511」
短納期対応が可能。幅広い応用分野に対応した高精度リニアステージ
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【精密測定向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
摩擦ゼロ、高精度位置決めを実現する小型エアベアリングステージ
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【半導体製造向け】A-143 高精度リニアエアベアリングステージ
摩擦ゼロ、±0.2 µmの高精度位置決めを実現する小型ステージ
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【FPD製造向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
摩擦ゼロ、高精度位置決め。FPD検査工程の品質向上に貢献。
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【レーザー加工向け】A-143 高精度リニアステージ
レーザー切断の精度を向上。±0.2 µmの高精度位置決めを実現。
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【光学機器向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
摩擦ゼロ、高精度位置決め。光学機器の調整作業を革新。
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【機械部品向け】PIglideA-121高精度モデル
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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【光学アライメント向け】PIglideA-121高精度モデル
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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【半導体検査向け】PIglideA-121高精度モデル
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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【計測・検査向け】高精度回転ステージ V-62xシリーズ
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
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【半導体向け】V-62xシリーズ 高精度回転ステージ
開口付、高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現
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【レーザー加工向け】ダイレクトドライブ高精度回転ステージ
開口付で高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現する高速・高精度回転ステージ
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【レーザー微細加工向け】産業用ヘキサポッド
さまざまな方向で信頼性の高い位置決めを実行
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