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光学用位相シフター S-312
光学または干渉計アプリケーション向け高解像度オープンループZステージ
最終更新日
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H-815 産業用ヘキサポッド
安定した製造プロセスを実現する産業用 6軸位置決めシステム
最終更新日
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ヘキサポッドシステム用コントローラ C-887.52X
PIヘキサポッド専用で、標準ソフトで直感的操作が容易
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耐荷重～250kg ヘキサポッド H-850 絶対エンコーダ搭載
±0.2µmの再現性、アブソリュートエンコーダ標準搭載の重荷重対応モデル
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耐荷重30Kgのパラレルキネマティック・ヘキサポッドH-840
最大30kgの耐荷重と±0.1µm再現性を両立した高精度6軸制御
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コンパクトで30kgまで耐荷重可能なヘキサポッド H-825
30kgの耐荷重＆剛性設計で高負荷アプリにも対応
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高精度小型ヘキサポッド H-811.I2 パラレルキネマティック
高剛性＆高精度、真空にも対応可能な小型6軸ステージ
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単一電極静電容量センサー D-510 微細位置測定向け
分解能1 nm未満・最大帯域10 kHzの非接触変位計測センサー
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2電極静電容量センサー D-050/D-100 高分解能ナノ測定
最大測定範囲150µm、高精度なナノ変位制御に対応
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ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ U-781 PILine
最大速度120mm/s、10nm分解能で高速・高精度走査を実現
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ピエゾマイクリニアアクチュエータ N-472Closedloop
慣性駆動＋インクリメンタルセンサで長期安定の微調整制御
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ピエゾマイクリニアアクチュエータ N-470 高保持力コンパクト
ストローク最大13mm、ミラー・光学素子の微細調整に最適
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ハイパワーピエゾナノステッピングドライブ N-216
最大800Nの保持力と5nm分解能、ナノ位置決めに革新を
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多軸デジタルピエゾコントローラ E-727 高速制御タイプ
最大4軸対応、データ記録・波形生成機能も標準搭載
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1ch ピエゾサーボコントローラ＆ドライバー E-625
24ビットA/D搭載でナノ分解能を実現、最大12chまで並列制御可能
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モジュール式ピエゾコントロールシステム E-500/E-501
使用軸数や対応センサー、動作仕様に合わせて柔軟な構築が可能
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小型XY軸ピエゾステージ P-620.2~P-629.2
最大1800µmの長ストロークとナノ精度で、微細な位置決めを実現
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エアベアリングボイスコイルリニアステージA-142PIglide
5nm分解能・200mm/sで高速・滑らかなサブミクロン動作を実現
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半球状エアベアリングモジュール A-65x 高耐荷重仕様
宇宙・無重量環境シミュレーションに最適な非接触構造
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エアベアリング回転ステージ PIglideA-62x高精度モデル
摩擦ゼロの回転精度。平面度200nm以下で光学検査に最適
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モーションコントローラ A-81x PIglide 1〜4軸対応
1台で1～4軸、卓越した拡張性と省スペース性能を実現
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【新製品】E-881 BIX モーションコントローラ
多様な制御環境に対応！装置組込みに最適な制御ソリューション
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【新製品】B-421 BIX 小型ピエゾ駆動リニアステージ
最大33mmの移動量！超小型で高精度ピエゾ駆動リニアステージ
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小型リニアエアベアリングステージ A-143 高精度タイプ
摩擦ゼロ。25 mmの移動範囲で±0.2 µmの高精度位置決めを実現
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直動エアベアリングステージ PIglideA-121高精度モデル
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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リニアモーターコントローラ PIMagC-891 高速制御モデル
USB制御＆マルチ言語対応で、セットアップも操作もスムーズ
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ボイスコイルモーターコントローラ C-414 小型制御ユニット
最大5A出力×豊富なI/O×PID制御で、ボイスコイル駆動を自在にコントロール
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ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズ
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
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高精度XY軸リニアモーターステージV-P01(精密位置決め対応)
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
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高精度Z軸ボイスコイルモーターステージ V-Z03｜精密高剛駆動
高速応答＆高剛性ガイドで、サブミクロンの精密Z軸制御を実現
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