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リニアモーター搭載 高剛性・高精度XYステージ V-731
高い移動精度と安定性を実現するコアレスリニアモーター搭載XYステージ
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光ファイバー・フォトニクス部品の3Dアライメントに F-836
高分解能・高再現性を兼ね備えた3Dファイバーアライメントシステム
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サブミクロン精度を実現 小型ヘキサポッド H-811.x2IHP
フォトニクスや精密組立の分野に最適なヘキサポッド H-811.x2IHP
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真空環境での位置決め課題に。ピーアイの真空対応製品一覧
ヘキサポッドからステージ、ピエゾまで、真空環境下に対応した製品
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ナノレベルの位置決めが求められる研究・産業用途に P-611.3
0.2nm分解能・超小型44mmキューブ。高速スキャンと高精度XYZナノポジショニングを実現
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非接触エアベアリング技術採用の高精度回転モジュール A-60x
摩擦ゼロで超高精度回転を実現するエアベアリングモジュール
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ダイレクト位置計測・クリアパーチャ対応 P-733Z
0.3nm分解能と高速応答を実現する高剛性ピエゾZステージ
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Z軸顕微鏡用ピエゾZステージ P-736 PiNano
100µm／200µmレンジの高速フォーカス制御用ピエゾZステージ
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小型設計・多軸システム構築に対応した高精度Zステージ L-306
13mmストロークのコンパクト高精度Zステージ
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【半導体装置向け】ナノ変位測定 静電容量センサー D-510
サブナノメートル分解能・最大10 kHz帯域。ウェーハ位置制御に最適な非接触静電容量センサー
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【精密機械向け】サブナノ分解能・静電容量変位センサー D-510
サブナノメートル分解能の非接触変位測定。精密加工装置の位置制御と加工精度向上に貢献
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【研究開発向け】サブナノ分解能・静電容量変位センサー D-510
サブナノメートル分解能・最大10 kHz帯域 ナノレベルの非接触変位計測を実現
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【精密機械向け】高分解能静電容量センサー D-050・D-100
最大300µm測定範囲、0.01nm分解能の非接触変位センサー
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【ナノテク向け】高分解能静電容量センサー D-050・D-100
サブナノメートル分解能でナノ変位測定を実現。ナノ材料評価・ナノ位置決めに最適な非接触変位センサー
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【新製品】X-365 高精度モジュラー式XYガントリーシステム
精度・剛性・柔軟性を兼ね備えたXY機構
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【研究開発向け】小型リニアステージ・真空対応有り M-11x
サイズ60mm四方、XYZ軸対応のコンパクトリニアステージ
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【光学調整向け】真空環境対応有り・小型リニアステージ M-11x
サイズ60mm四方、XYZ軸対応のコンパクトリニアステージ
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【顕微鏡フォーカス向け】リニアアクチュエータN-472
慣性駆動と位置フィードバックで顕微鏡フォーカスを長期安定化
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【光学調整向け】リニアアクチュエータ N-472
慣性駆動と位置フィードバックで長期安定の光学微調整
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【顕微鏡向け】フォーカス調整に リニアアクチュエータ N-470
最大13 mmストロークで顕微鏡フォーカスを精密制御
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【光学調整向け】微細調整に最適なリニアアクチュエータ N-470
ミラー・光学素子の微細調整に最適な高保持力コンパクトアクチュエータ
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【半導体向け】ピエゾナノ位置決めアクチュエータ N-216
最大800Nの保持力と5nm分解能を実現。半導体製造装置の高精度位置決めを支える高推力ピエゾドライブ
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【光学調整向け】最大600Nの高荷重リニアステージ V-817
リニアモータ×高精度エンコーダで高荷重600Nでも滑らか・高速応答
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【半導体製造向け】ウェハ加工および検査に 高負荷リニアステージ
リニアモータ×エンコーダで高荷重600N（最大）でも滑らか＆高速応答
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【研究開発向け】滑らかで安定制御・高精XYステージ V-P01
高速・高精度な実験をサポートするXYステージ
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【レーザー加工向け】滑らか動作の高精度XYステージ V-P01
レーザー加工の切断工程に。高精度位置決めと高速移動を実現
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【計測機器向け】高精度XYステージ V-P01
校正作業の効率化と精度向上に貢献するXYステージ
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【光学向け】低速域でも滑らか動作・高精度XYステージ V-P01
レンズ調整の精度と効率を向上させるXYステージ
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【顕微鏡向け】高精度XY軸リニアモーターステージV-P01
顕微鏡観察・自動イメージング向け 高精度XYステージ V-P01
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【ウェーハ検査向け】摩擦レス・高精度XYステージ V-P01
高速・高精度なウェーハ検査をV-P01が実現
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