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【分析事例】SIMSによるSiON膜の評価

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【分析事例】SIMSによるSiON膜の評価

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膜厚1nm程度のSiON中Nの評価が可能

高感度なSIMS分析が得意とする低濃度領域に至るまで、SiON膜中Nの分布を深さ方向に評価し、N量（単位：atoms/cm2）を高い精度で評価が可能です（図1）。またNをatomic%へ変換(図2)、Nのフィッテングカーブ算出することができ、フィッティングによりNのピーク濃度・深さ・半値幅を算出(図3)することが可能です。

関連リンク - https://www.mst.or.jp/casestudy/tabid/1318/pdid/32…

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