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クリーンルーム内有機化合物の評価方法

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クリーンルーム内有機化合物の評価方法

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GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

半導体や液晶などの製造が行われているクリーンルームでは、パーティクルだけでなく分子レベルの化学汚染（分子状汚染）を把握することが重要です。浮遊分子状汚染物質としては酸・塩基性ガスや凝集性有機物質、ドーパント、金属などが挙げられ、成分に応じて分析方法は異なります。 ここでは凝集性有機物質の詳細と、代表的な捕集方法である“吸着剤捕集”と“ウエハ暴露捕集”について紹介します。

関連リンク - https://www.mst.or.jp/casestudy/tabid/1318/pdid/46…

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LSI・メモリ・パワーデバイス・太陽電池・ディスプレイ・酸化物半導体の分析です

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