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バレル/ドラム型粉体スパッタリング装置
粉体凝集対策可能！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！
最終更新日
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スピンドライヤー（乾燥機）
【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン乾燥に最適！
最終更新日
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カセットレス自動洗浄装置
【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作！
最終更新日
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ウエハー高圧ジェットスクラバー HPC-8654-H
【デモ機貸し出し可能！】ウエハー高圧ジェットスクラバー HPC-8654-H
最終更新日
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ウエハー自動洗浄装置 カセットレス自動洗浄装置
【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します
最終更新日
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ウエハー自動洗浄装置 300mmウエハ自動洗浄装置
【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式洗浄装置です
最終更新日
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ウエハー自動洗浄装置 枚葉式自動洗浄装置 スプレータイプ
【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）
最終更新日
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ウエハー自動洗浄装置 枚葉式自動洗浄装置 ディップタイプ
【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です
最終更新日
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エッチング装置 スプレー式ウエハーエッチング装置
【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です
最終更新日
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エッチング装置 ウエハ洗浄装置
【デモ機貸し出し可能！】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置
最終更新日
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エッチング装置 急速エッチング装置
【デモ機貸し出し可能！】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます
最終更新日
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エッチング装置 半自動ウエハーエッチング装置
【デモ機貸し出し可能！】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います
最終更新日
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置
【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます
最終更新日
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スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター
【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます
最終更新日
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スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター
【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います
最終更新日
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スピン洗浄装置 スプレー現像装置
【デモ機貸し出し可能！】一度に数枚のワークを処理できます
最終更新日
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター
【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です
最終更新日
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スピンドライヤー SPD型
【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内のクリーン化を計っています
最終更新日
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スピンドライヤー SRD型
【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置
最終更新日
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スピンドライヤー SPD-1200G
【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリーン度を飛躍的に向上
最終更新日
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スピンドライヤー SFH type
【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です
最終更新日
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スピンドライヤー SFシリーズ
【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。コンパクトな卓上型
最終更新日
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半導体製造装置 マスク自動洗浄装置
【デモ機貸し出し可能！】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします
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半導体製造装置 自動両面ウエハースクラバー（ブラシ洗浄装置）
【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています
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キャリヤー及びフープ自動洗浄装置（カセット洗浄装置）
【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています
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半導体製造装置 自動レジスト剥離装置
【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています
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半導体製造装置 自動石英管洗浄装置
【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい
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スピン洗浄装置 スピナー MSC-200型
小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型
φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型
300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式！
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