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［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法
ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能
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［FIB］集束イオンビーム加工
FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走査させることにより特定領域を削ったり成膜することが可能です
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［IP法］Arイオン研磨加工
IP法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です
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大気非暴露下での処理
サンプル本来の状態を評価することが可能
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クライオ加工
やわらかいサンプルを冷却、硬化させ切削可能に
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【分析事例】トランジスタ（MOSFET）の拡散層分布評価
SCMによる特定箇所の拡散層評価
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【分析事例】CIGS薄膜太陽電池の結晶粒と抵抗評価
同一箇所における抵抗分布と結晶粒・結晶粒界評価
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【分析事例】CIGS薄膜太陽電池バッファ層界面の観察
超高分解能STEMによるZn(S、 O、 OH)/CIGS接合界面の結晶構造評価
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【分析事例】有機薄膜太陽電池電極界面の状態、有機膜の分散状態評価
雰囲気の影響を最小限に抑えた総合的な評価解析が可能です
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【分析事例】LIBの充放電サイクル試験後の劣化評価
電池セルの作製から充放電サイクル試験から解体、劣化成分量の調査まで
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【分析事例】リチウムイオン二次電池負極の劣化評価
電池セルの作製・劣化試験・解体・劣化による状態変化の調査まで一貫評価
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【分析事例】リチウムイオン二次電池電解液の主成分評価
実験セルを問わず解体し、分析します
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【分析事例】SIMSによるSiO2中アルカリ金属深さ方向分布評価
試料冷却による高精度なアルカリ金属の分布評価
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【分析事例】SIMSによるSi表面近傍のBの深さ方向分布評価
試料冷却による高精度なBのプロファイル分析
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【分析事例】カーボン膜の構造評価
構造特定・結晶性・sp3性の評価
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【分析事例】エルゴチオネインのLC/MS分析
天然物由来のアミノ酸類の収率や精製レベルを評価
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【分析事例】毛髪内部の金属分布評価
TOF-SIMS分析を用いた毛髪断面の成分分布評価
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【分析事例】バイポーラトランジスタの拡散層構造評価
ｐｎ判定を含む拡散層の構造を明瞭に観察可能
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【分析事例】フラックスの洗浄残渣評価
微小・極薄の残渣をイメージとして捉えます
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【分析事例】液晶パネルの異物・汚れ成分の同定・推定
ミクロンからセンチオーダーの異物・汚れをイメージとして捉えます
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【分析事例】プリント基板上有機物系異物の分析（C0080）
適切なサンプリングで異物周辺情報の影響を軽減
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【分析事例】TOF-SIMSによる部品表面シミ・水はじき原因調査
切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定
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【分析事例】TOF-SIMSによるフッ素系潤滑剤・高分子の同定
汚染成分を同定し、汚染発生工程を推定
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【分析事例】粘着テープの残渣評価
TOF-SIMSにより表面付着物成分を同定します
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【分析事例】SIMSによる酸化物ReRAM動作領域の元素分布評価
酸化物デバイスにおける局所元素分布を酸素同位体を用いて高感度に評価
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【分析事例】SSDP-SIMSによるTFT配線交差部深さ方向分析
微小領域・ガラス基板についてもSSDPによる分析が可能
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【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化
FFTM法による格子像解析
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【分析事例】ZnO膜表面の形状観察
広域の表面形状観察が可能
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【分析事例】クロスハッチパターンの形状観察
高い垂直方向分解能で小さな凹凸を可視化可能
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【分析事例】毛髪中における高級脂肪酸の分布評価
高級脂肪酸の分布を可視化
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