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【分析事例】分子動力学計算によるGa含有プリカーサーの蒸気圧計算
ALD、CVDのプリカーサーに用いられる金属錯体の蒸気圧予測に有効！
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【分析事例】ナノCTによる電池部材の内部構造評価
空間分解能100nmにて試料内部の微細構造を三次元的に観察！
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【分析事例】異物発生の原因調査：チューブの分析
ウエハの汚染原因を推定することが可能です！
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【分析事例】真空装置内の汚染分析
オイルバックやグリースなど真空装置内の汚染原因を評価可能！
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【分析事例】被毛表面の成分評価
動物の毛(被毛)の表面分析により表面状態の数値化が可能です！
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【分析事例】Cu上のSMIとTMAの競合吸着解析_C0743
着目の成膜パラメータ（温度、圧力）にて多分子競合吸着性の評価が可能です
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【分析事例】分子動力学計算によるイオン拡散挙動評価
組成・温度を変えてイオンの拡散挙動を予測・評価することが可能です。
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【分析事例】吸着前後の溶液成分とゼオライトの構造評価
溶液中のイオン含有量と吸着剤の構造変化からイオン交換の様子を捉えます
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【分析事例】X線CTを用いた全固体電池の非破壊分析
X線CTにより充放電前後の構造変化を観察できます
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【分析事例】ナノCTによるCNF繊維配向評価
試料内部のnmオーダーの繊維を三次元的に観察可能
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［SIMS］二次イオン質量分析法
二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です
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［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
ナノオーダーでの元素分析・状態評価・粒径解析・三次元立体構築像の取得
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［XPS］X線光電子分光法
試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有効
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［SEM］走査電子顕微鏡法
高倍率観察(30万倍程度まで)が可能
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［AES］オージェ電子分光法
電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得られます
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［XRD］X線回折法
XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。
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[EBSD]電子後方散乱回折法
容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能
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［LC/MS］液体クロマトグラフィー質量分析法
イオンを検出器で検出し、定性・定量をおこなう分析手法です
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［AFM］原子間力顕微鏡法
ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測
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［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法
数十μm角程度の領域の測定が可能
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［Raman］ラマン分光法
試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得る
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[EMS]エミッション顕微鏡法
故障箇所を迅速に特定
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［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法
有機化合物の定性・定量を行う分析手法です
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［XRR］X線反射率法
XRR：X-ray Reflectivity
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［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法
試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です
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［UPS］紫外光電子分光法
試料表面の組成の定性・定量や仕事関数評価に
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［SAXS］X線小角散乱法
・ナノスケールでの周期構造・配向性を評価可能
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［SCM］［SNDM］
キャリア分布を二次元的に可視化
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白色干渉計測法
非接触・非破壊で3次元測定可能
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分析訪問セミナー
分析のセミナーを無償にて行います！
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