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【分析事例】IGZO
酸化物半導体のXRD・XRR分析事例
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【有機EL解析に最適】TOF-SIMS新分析サービス開始
有機成分を壊さず深さ方向分析が可能になりました！ 従来より空間分解能も向上し、狭い領域でも評価いたします。
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【分析事例】有機EL材料TOF-SIMSのRGB素子深さ方向分析
雰囲気制御下でのGCIB（Arクラスター）を用いた有機EL層構造・劣化層の評価
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【クライオSEM分析】液体中微粒子の分散状態を評価
急冷凍＋SEM観察により、粒子が分散している様子を画像で確認！ ★第25回インターフェックスジャパンでデータ展示★
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［SIMS］二次イオン質量分析法
二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です
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［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
ナノオーダーでの元素分析・状態評価・粒径解析・三次元立体構築像の取得
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［XPS］X線光電子分光法
試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有効
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［SEM］走査電子顕微鏡法
高倍率観察(30万倍程度まで)が可能
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［AES］オージェ電子分光法
電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得られます
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［XRD］X線回折法
XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。
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[EBSD]電子後方散乱回折法
容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能
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［LC/MS］液体クロマトグラフィー質量分析法
イオンを検出器で検出し、定性・定量をおこなう分析手法です
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［AFM］原子間力顕微鏡法
ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測
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［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法
数十μm角程度の領域の測定が可能
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［Raman］ラマン分光法
試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得る
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[EMS]エミッション顕微鏡法
故障箇所を迅速に特定
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［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法
有機化合物の定性・定量を行う分析手法です
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［XRR］X線反射率法
XRR：X-ray Reflectivity
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［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法
試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です
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［UPS］紫外光電子分光法
試料表面の組成の定性・定量や仕事関数評価に
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［SAXS］X線小角散乱法
・ナノスケールでの周期構造・配向性を評価可能
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［SCM］［SNDM］
キャリア分布を二次元的に可視化
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白色干渉計測法
非接触・非破壊で3次元測定可能
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分析訪問セミナー
分析のセミナーを無償にて行います！
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［ICP-MS］誘導結合プラズマ質量分析法
導結合プラズマ（ICP）を励起源として用いた無機元素分析の手法です
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［TG-DTA/TG-DTA-MS］示差熱天秤-質量分析法
サンプルを加熱することによって生じる重量変化・示差熱・熱量および揮発成分の質量を測定
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［EBIC］電子線誘起電流
試料内部の電界構造（半導体の接合構造）に関する情報を得ることができる手法
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［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）
電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です
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［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法
電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定することによって、物質の構成元素や電子構造を分析
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［SIM］走査イオン顕微鏡法
高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能
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