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【分析事例】バンプの広域断面観察
イオンポリッシュによる断面作製で微小特定箇所の広域観察が可能です
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【分析事例】酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別
TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です
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【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価
金属成分と有機成分を同時に評価可能です
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【分析事例】有機EL素子積層膜の膜密度・膜厚測定
X線反射率測定（XRR）で膜厚・密度の分析が非破壊で可能です
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【分析事例】SIMSによるZnO膜の組成・不純物の分布評価
イメージングSIMS分析により面内分布を可視化
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【分析事例】SIMSによるSiON膜の評価
膜厚1nm程度のSiON中Nの評価が可能
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【分析事例】SSDP-SIMSゲートから基板へのB突き抜け量評価
SSDP-SIMSによる測定面の凹凸・高濃度層の影響を避けた測定
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【分析事例】有機ＥＬ素子の成分分析
Slope面出し加工された有機多層構造試料のTOF-SIMS成分分析
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【分析事例】素子分離領域の歪解析
NBD：Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解析
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【分析事例】SIMSによる極浅注入プロファイルの評価
極浅い領域においてもドーパント分布・接合の評価が可能
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【分析事例】SIMSによる極浅ドーパント分布の高精度分析
高い再現精度で評価可能
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【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察
FIB法による特定箇所の平面TEM観察
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【分析事例】二酸化ケイ素の構造解析
非晶質（ガラス）二酸化ケイ素（SiO2）のラマン散乱分光法による構造解析
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【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価
波形解析・Arスパッタによる結合状態の深さ方向分布評価
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【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価
光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり
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FIB低加速加工
FIB：集束イオンビーム加工
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高純度雰囲気下での前処理・測定
XPS：X線光電子分光法など
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球面収差補正機能
TEM：透過電子顕微鏡法
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SEM装置での歪み評価
EBSD：電子後方散乱回折法
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マイクロサンプリング法
FIB：集束イオンビーム加工
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垂直入射法による深さ方向分解能の向上
SIMS：二次イオン質量分析法
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ご依頼からの流れ
ご依頼から納品までの流れをまとめました。
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よくあるご質問（FAQ） サンプルについて
サンプルについて、よくお問い合わせいただくご質問を、FAQ形式でまとめました。
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よくあるご質問（FAQ） ご発注について
ご発注について、よくお問い合わせいただくご質問を、FAQ形式でまとめました。
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サンプルの送り方
分析を行うサンプルをMSTにお送りいただく際の送り方をまとめました。
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［TDS］昇温脱離ガス分析法
真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法。水素や水も感度よく確認
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［PL］フォトルミネッセンス法
PL：PhotoLuminescence
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