【分析事例】デバイスの金属膜中および界面における金属不純物の評価
めっきなどの膜中・界面の不純物をTOF-SIMSで評価できます。
基本情報
測定法:［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法 製品分野:LSI・メモリ、パワーデバイス、光デバイス、電子部品、製造装置・部品、酸化物半導体 分析目的:故障解析・不良解析、製品調査
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納期
用途／実績例
LSI・メモリ、パワーデバイス、光デバイス、電子部品、製造装置・部品、酸化物半導体の分析です。
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取り扱い会社
MSTは受託分析サービスをご提供する財団法人です。 TEM・SIMS・XRDなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 知識豊富な営業担当が、適切な分析プランをご提案。貴社に伺ってのご相談も、もちろん可能です。 ISO9001・ISO27001取得。 製品開発・不良原因の解明・特許調査はぜひご相談ください！ MSTは、あなたの「困った！」を解決へと導きます。
