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マイクロサンプリング法

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マイクロサンプリング法

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FIB：集束イオンビーム加工

試料から直接小片を取り出し（マイクロサンプリング）、FIB加工を行うことができます。

関連リンク - https://www.mst.or.jp/casestudy/tabid/1318/pdid/39…

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形状評価・組成評価・同定・組成分布評価・結晶構造評価・故障解析・不良解析など

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マイクロサンプリング法_B0004

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