2次元検出器を用いたX線回折測定
XRD：X線回折法
2次元検出器を用いて測定を行うと、回折角(2θ)に加えてあおり方向(χ)の情報も同時に得られます。観測される2次元回折像は材料の結晶性や配向性などの特徴を可視化することが出来るため、配向性が特性に影響する材料の評価に有効です。
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用途／実績例
酸化物半導体・LSI・メモリの分析です
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