【分析事例】はんだボール表面酸化膜の三次元分布評価
AES分析により、面内の元素分布を深さ方向へ可視化！ご指定箇所のプロファイル抽出も可能
弊団では、はんだボール表面酸化膜の三次元分布評価を行っております。 数μm角の領域では得られる情報が局所的となるため、面内の組成が 不均一と想定される場合には、広域(数十μm視野)の面分布取得を併せて 取得できる深さ方向分析が有効です。 今回は、はんだボール表面の酸化膜の元素分布を深さ方向へ取得した 事例を紹介します。 【測定法・加工法】 ■［AES］オージェ電子分光法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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