剥離原因となる金属界面の有機物評価
TOF-SIMSで金属界面の有機物を深さ方向に評価できます
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用途/実績例
下記分野の分析です。 ・酸化物半導体 ・パワーデバイス ・光デバイス ・LSI・メモリ ・電子部品 ・製造装置・部品
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