【分析事例】XPSによる結合状態マッピング
mmオーダーで試料表面の汚染、表面処理等の分布評価が可能です
本資料では、XPSを用いた結合状態マッピングにより、有機汚染を評価した例をご紹介します。こちらの結合状態マッピングは、着目元素のXPSスペクトルを面内で数百点取得し、特定の結合状態に対応するエネルギー位置のピーク強度の分布を描画することで得られます。着目エリアの大きさに応じて、1mm～20mm□程度の任意サイズを評価領域として設定可能で、特にmmオーダーの汚染、変色、表面処理等の評価に適しています。元素に関しては、炭素以外にも金属やSiについて同様の評価が可能です。
基本情報
測定法：XPS 製品分野：電子部品・製造装置・部品・日用品 分析目的：結合状態評価
価格帯
納期
用途／実績例
電子部品・製造装置・部品・日用品の分析です。
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