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ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー EX-300
モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8インチまでの対応も提供可能。
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ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-220
オペレータの作業を低減、生産効率を向上することができる、オートカット機能搭載のウェハー拡張装置
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ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-21シリーズ
拡張ステージの駆動にエアシリンダーを採用。シンプル構成により、メンテナンスフリーを実現。
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フィルム貼付装置｜セミオートマウンター「FM-903S」
最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター
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マニュアルプリカットテープマウンター PFM-9008
プリカットテープ用のマニュアルウェハーマウンター
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真空フィルム貼付装置｜LP・テープマウンター
真空フィルム貼付装置のご紹介！ローラーでの破損問題を解決します
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ウェハーケース｜グリップリングケース
導電性PPを使用！試作品や少量の搬送、出荷、保管に好適です
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UV(紫外線)フィルム硬化装置｜LED光源仕様「UVC-708」
波長365nmのUV-LEDを使用、常温照射、低ランニングコストです！
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【技術資料】ウェハーへの均一なテープ貼り付けのコツ
「ダイシング工程におけるテープ貼り付けプロセス」についてご紹介
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クリーン加熱ヒーター｜「SHシリーズ」
加熱部にステンレス（SUS 316-EP処理）を採用した不活性ガス／クリーンドライエアー用ヒーター
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簡易型マスク洗浄装置｜簡易洗浄ユニット
簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニットです。
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フォトマスク洗浄装置｜簡易型マスク洗浄装置TWC-302
「スクラブ洗浄＋リンス」＆「Hot純水乾燥」の2槽式簡易型マスク洗浄装置
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フィルム貼付装置｜マニュアルマウンター FM-224シリーズ
研究開発を始め、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択が可能
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UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」
ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を行なう事が可能
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フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ
プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置
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フィルム貼付装置｜セミオートマウンター「FM-3343」
プリセットされた貼付け条件で気泡なしにオートラミネーション
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マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」
マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去
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UVフィルム硬化装置｜全自動 LED光源仕様「UVC-300A」
高圧水銀灯やメタルハライド光源と比較しても十分な硬化性能（硬化状態、硬化スピード）を発揮します
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UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」
小型・軽量・小フットプリント装置
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洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」
ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした洗浄装置。
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超純水用加熱ヒーター｜スーパークリーンヒーター「QHシリーズ」
流体を汚染させること無く瞬間加熱を行うことが可能で、装置組込みや既設ラインへの組込み等、インライン設置に最適です。
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フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200
スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナー
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フォトマスク洗浄装置｜PDP・大判フォトマスク用 TW-1000
スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実施！
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強化プラスチック製 グリップリング
インナーリング、アウターリングのダブルリング構造で拡張状態を保持
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UV(紫外線)フィルム硬化装置｜LED光源仕様「UVC-300」
LED光源で長寿命！ 波長 365nmの紫外線（UV）を照射
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UV(紫外線)オゾン洗浄装置| UV-208/UV-312
UV光源に高密度グリッド形状の低圧水銀ランプを採用
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