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【分析事例】化合物積層構造試料のSIMS分析
前処理により化合物層を選択的に除去してから分析が可能
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【分析事例】300mmウェハ最表面の異物の評価
異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能
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【分析事例】SiC基板のゲート酸化膜評価
膜厚・密度・結合状態を評価
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【分析事例】SiC基板におけるSSDP-SIMS分析
SiC基板側からドーパント濃度プロファイルを取得可能
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【分析事例】有機成分洗浄効果の評価
300mmウェハをそのまま測定できます
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【分析事例】SIMSによるGaN系LED構造の組成分析
GaN系LEDの主成分元素の組成を深さ方向に評価可能
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【分析事例】GaN系LED構造中MgのSSDP-SIMS分析
裏面側からGaN系LED構造中の不純物プロファイルを取得可能
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【分析事例】はんだ合金中の添加物面内分布評価
ppmレベルの添加物の分布を高感度に評価可能
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【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析
化合物半導体の主成分元素の組成を深さ方向に評価可能
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【分析事例】食品中有害成分の濃度分析
乳幼児用粉ミルク中メラミンの濃度評価
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【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析
GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に可視化
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【分析事例】SIMSによるSiC中ドーパント元素の深さ方向分析2
目的に応じた分析条件で測定します
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【分析事例】SAXSによる乳化剤の液晶構造・ミセルサイズ評価
ナノオーダーの構造解析・ナノ粒子サイズの評価が可能
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【分析事例】TEM・EDX・EELSのアイシャドウ成分元素分析
ナノオーダーの形態観察・元素分析が可能
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【分析事例】SiN膜中水素の結合状態別の定量
赤外吸収法によりSiN膜中のSi-H、N-Hを定量
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【分析事例】高温XRDによる金属膜の評価
昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価
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【分析事例】X線によるZn系バッファ層の複合評価
組成・結合状態・構造・密度の評価が可能
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【分析事例】リチウムイオン二次電池正極材料の材質分布評価
正極材料の導電性をSSRMを用いてマッピング
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【分析事例】三次元SEMによる活物質体積の数値評価
Slice&Viewデータから各物質の体積計算が可能
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【分析事例】高麗人参 生薬成分のLC/MS/MS分析
ギンセノシド6種（Rb1，Rc，Rd，Re，Rg1，Rg3）の一斉分析
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【分析事例】ヤムイモ中ジオスゲニンのLCMS分析
ジオスゲニン配糖体の定性・定量分析
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【分析事例】機能性成分グルコシルセラミドの分析評価
LC/MSによる定性分析、HPLCによる定量分析事例
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【分析事例】緑茶中カテキンのLC/MS/MS分析
熱異性化体を含むカテキン8種類の一斉分析事例
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【分析事例】お茶に含まれる機能性成分の定量分析
茶カテキンとカフェインの濃度評価および製品比較
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【分析事例】指定外酸化防止剤（TBHQ）のLC/MS/MS分析
高い回収率で低濃度の食品中TBHQ定量分析を実現
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【分析事例】直鎖アルキルベンゼンスルホン酸・塩（LAS）の分析
容器貸し出しから分析結果までトータルでサポートします！
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【分析事例】GaN系デバイスの発光・発熱解析
GaN系デバイス耐圧評価、及び、表面発熱分布評価のご提案
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【分析事例】SiCパワーMOSFETの活性層複合評価
活性層の形状とドーパントを評価
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【分析事例】SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価
コンタクト電極/SiC層の界面の相同定・元素分布評価
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【分析事例】パッケージ品のロックイン発熱解析
Si系パワーダイオードのリーク箇所非破壊分析
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