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□■□基板加熱ヒーター□■□

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基板加熱ヒーターは、フロントプレート材質に「窒化アルミ」「ボロンナイトライド」「インコネル」「石英」などから選択ができ、更に搭載するヒーターエレメントもNiCr, Kanthal, Graphite, CCコンポジット, 及び各種コーティング品など豊富に用意。 プロセス雰囲気に合わせてハウジング、電極構造、冷却構造などを自在にカスタマイズした基板加熱ユニットをご提案します。 超高温焼成・加熱効率・均熱性・温度再現性に優れた基板加熱ヒーターユニットです。 半導体製造装置、CVD、PVD（蒸着、スパッタ、PLD、ALD）、高温亜ニール装置などあらゆる装置構成に対応が可能です。

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